中古 PLASMATHERM 790 #293818685 を販売中
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PLASMATHERM 790は、多種多様な基板をエッチングまたはアッシャーするように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。そのデスクトップバージョンには、大容量ウェーハ、オンボード高真空チャンバー、および幅広いガスシステムが含まれており、繊細な材料の最高品質と信頼性を保証します。機械の高度なパルスリバースバイアス(PRB)パルスパワー機能により、正確でエネルギー効率が高く、クリーンプロファイルの選択的エッチングが可能です。790の高真空チャンバーは、10-4 torrの保持を維持し、また、選択的エッチングまたはアッシングプロセスのための低圧環境を提供します。低圧環境により生産量が増加し、製品汚染が低減され、製品の安全性が向上します。さらに、高度なガスシステムとスケーラブルなプラズマリアクター技術により、基板の保護が保証され、熱衝撃と真空汚染の可能性が低減されます。PLASMATHERM 790は、低圧制御バルブやマスフローコントローラなど、幅広いガス処理技術をサポートしています。これにより、さまざまな高度なプロセス制御が可能になり、エッチング/アッシングプロセスを厳密に制御できます。統合されたプログラマブルロジックコントローラ(PLC)により、高度なエッチング/アッシングパラメータを設定することができます。幅広い機能と技術により、790は高い精度と再現性を必要とする複雑なエッチング/アッシング作業に最適です。自動化されたプログラマブルエッチングパラメータにより、高速かつ再現性の高いプロファイリングが可能になり、過剰または過剰エッチングのリスクを低減します。高真空の部屋およびガスの流れシステムはまた不必要な出血およびcharringを防ぎます。最後に、PLASMATHERM 790は非常にユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。直感的なメニュー駆動のセットアップにより、エッチャーのさまざまな設定や機能に簡単にアクセスできます。これにより、スキルレベルに関係なく、オペレータが最小限の労力でエッチャーを素早くセットアップして操作できるようになります。全体として、790は非常に近代的で信頼性が高く、強力なエッチャー/アッシャーであり、難易度の基板で優れた結果を提供します。その多くの高度な機能は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと組み合わせて、時間後に高いエッチング/アッシング精度の時間を確保するのに役立ちます。
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