中古 PLASMATHERM 790 #293764460 を販売中

PLASMATHERM 790は、様々な用途に対応する高度なプラズマエッチング機能を提供するアッシャー/エッチャーです。これは、生産性と性能を向上させ、最も困難なエッチングのニーズに最適で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。このシステムは、最大200kWのエッチング出力と11m2のフットプリントを備えています。モジュラー構成により、高い柔軟性とオーダーメイドの生産プロセスを可能にします。790には、室温プラズマ（RTP）またはリモートプラズマ源（RPS）の2つの統合ソースが含まれています。最大300mmウェーハ/スタック用の直径6インチまでのロードロックチャンバーにより、他のモデルと比較して最大50％のスループットを提供します。精密な自動レチクルを提供し、各ガスの独立した制御を可能にし、複雑なエッチングプロセスを実行しやすくします。PLASMATHERM 790は、光学コーティング、複合材料、ポリマー、金属箔など、多くの敏感な材料に適しています。真空とガスの安全プロトコルが統合されているため、潜在的に危険な化学物質を安全に取り扱うことができます。それに高容量のデジタル制御システムがあり、より速いプロセス開発および現代ソフトウェアとの直接調理法を提供します。さらに、PWMパワースイッチング、排気圧力レギュレーション、自動予防メンテナンスルーチンなど、いくつかの保護機能が含まれています。790は、エッチング/エッチング処理のための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。プリント基板製造、ディスクリート部品製造、集積回路製造、半導体包装、太陽電池製造など、さまざまな用途に最適です。その性能と柔軟性の融合は、あらゆる生産環境で生産性を最大化するのに役立つ強力な装置です。