中古 PLASMATHERM 790 Series #9382215 を販売中

PLASMATHERM 790シリーズは、ナノテクノロジーの幅広い用途に使用するために設計された洗練されたエッチャーおよびアッシャー装置です。プロセス制御、資源経済、電力効率の独自の組み合わせにより、高精度のエッチングおよびアッシング操作に最適なデバイスです。790シリーズは、基板のエッチングとアッシングのための制御性の高い高純度プラズマを生成するためのプラズマ源を備えています。PLASMATHERM 790シリーズは、パワー、パルスレート、パルス幅、エッチング時間、エッチング深さ、アッシング深さ、アッシング深さ、リアクタント流量および射出速度を含むプラズマパラメータを正確に制御するために、さまざまな精密なプロセス制御パラメータを内蔵しています。この制御は、システムの超低真空レベルの10-2 mBarrと組み合わされ、わずか3分の非常に短いクリーンシーケンスにより、高スループットのアプリケーションに最適です。790シリーズは、高効率でリソースを節約できるように設計されています。低電圧の電源で駆動し、高度な省電力機能を備えています。最先端のPLC制御ユニットは、最適化されたプロセス制御とプロセスパラメータの正確な制御を提供します。PLCインターフェイスはユーザーフレンドリーであり、グラフィカル操作により迅速なプロセス設定が可能です。安全は最優先事項です。PLASMATHERM 790シリーズは、高度な火災および煙検出機と遠隔緊急シャットオフを提供します。このツールには、オペレータの安全のための接触スイッチを備えた蝶番付きカバーが付属しています。赤外線温度センシングは、プロセスの監視と制御のためにも実装されています。790シリーズは、さまざまなプロセスと制御オプションを備えており、さまざまなユーザー要件に最適なデバイスです。内蔵の診断資産と広範なI/O機能により、既存のラボスケール、製造、および生産ラインへの容易な統合が可能です。このユーザーフレンドリーなモデルは、さまざまな基板と互換性があります。