中古 PLASMATHERM 790 Series #9382207 を販売中

Etcher/AsherシステムのPLASMATHERM 790シリーズは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に精度と高度な技術を提供するように設計された高性能、多機能ユニットです。790シリーズは、高度なマルチゾーン、高真空、静電チャックプラズマ源を採用し、正確なガス制御と均一な温度分布を可能にします。滅菌・低圧環境を実現し、反応性イオンエッチング、アッシング、沈着などの用途に特に適しています。プラットフォームのアクティブガス供給装置は、高精度のデジタル真空ポンプ、マスフローコントローラ、統合排気システム、およびコンピュータ制御ソフトウェアインターフェイスで構成されています。この高精度ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、ユーザーはガスの流れ、圧力、およびイオンエネルギーパラメータを正確かつ正確に調整することができ、エッチングおよびアッシングプロセスにとって非常に重要な再現可能な処理条件を確実にすることができます。ユニットの高度な設計により、さまざまなプログラマブルで自動化されたアプローチが容易になります。これは、ユーザーが最小限の労力で各操作をカスタマイズすることができ、効率的かつ正確な手動操作のために設計されています。事前に確立された運用プロファイルは、制御および再現可能な処理にも使用できます。PLASMATHERM 790シリーズは、石英、シリカ、アルミナ、ポリアミドなど、さまざまなシリコンフォトマスクおよび非導電基板と互換性があります。この機械の自動負荷解除機能により、ウェーハやその他の基板の配置と搬送が容易になり、安全インターロックにより予期せぬアークや高温暴露を防ぎます。汎用性の高い790シリーズは、複数のモデル構成で提供され、オペレータの処理ニーズに合わせて調整することができます。温度、ガスの流れ、圧力を厳密に制御する必要があるエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。そのシンプルで一貫性のある操作により、ユーザーは従来の方法に比べて優れた結果を持つ、さまざまな精密なエッチングと灰を生成することができます。