中古 PLASMATHERM 790 RIE #293811826 を販売中

PLASMATHERM 790 RIE（リアクティブイオンエッチング）は、PLASMATHERMが開発した最先端のフル機能エッチング装置です。誘電体、有機材料、半導体、MEMS構造などの先端材料の等方性・異方性エッチングが可能です。790 RIEは、プロセスの効率的な構成と企業のニーズへの迅速な適応を可能にするスケーラブルなモジュラープラットフォームを備えています。モジュール式のマルチチャンバー設計により、プロセスの柔軟性がさらに向上し、さまざまなタスクにチャンバを追加できます。さらに、大きなチャンバーサイズは均一なエッチング処理を保証し、レシピの幅広い選択は、形状や材料に関係なく正確なエッチング制御を可能にします。PLASMATHERM 790 RIEは、エッチング速度を維持するために低圧環境と陰極を作成するために、高出力のRF発電機と真空ポンプを採用しています。これにより、プロセスパラメータの最適な設定が可能となり、高精度で高品質なエッチングを実現します。さらに、強力なチャンバー冷却システムは、優れた熱制御を提供し、時間の経過とともに高い再現性と優れた信頼性を可能にします。ユニットの高度なソフトウェアは、最初から最後まで再現性、信頼性、および制御可能なエッチングを保証します。また、機械の損傷やエラーを防ぐための多数の安全および保護機能が含まれています。さらに、独自のAnalyzer Modeは、各ランを自動的に分析し、関連するパラメータを表示することにより、エッチング処理をより深く理解することができます。このツールには、バイパスライン付きのオプションのチラー、リモート診断診断と修理、最適化されたロードロック、自動パレット転送アセットなど、追加機能のためのさまざまなアクセサリも付属しています。さらに、印刷デバイスの正確なアライメントと登録のためのオプションの統合ビジョンモデルにより、新しい設計へのシームレスな調整と迅速な処理が可能になります。全体として、790 RIEは高性能で信頼性の高いエッチング装置であり、優れた精度、再現性、およびプロセス安定性を提供します。これにより、企業はタイトな締め切りに先んじて、簡単に最高レベルの品質を達成することができます。