中古 PLASMATHERM 790 MF #9354598 を販売中

ID: 9354598
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Multi-process etcher, 8" Suitable for processes: Oxide, SiN, Silicon and Metal etch Gas used: O2, N2, CHF3 and SF6 LEYBOLD D25BCS Pump NESLAB CFT75 Chiller 1995 vintage.
PLASMATHERM 790 MFは最先端のプラズマエッチャー/アッシャーで、産業環境における厳しい生産ニーズを満たすように設計されています。エッチング、コーティングの取り外し、スパッタエッチング、ホットプロセス技術を一台の機械で行える多機能ツールです。790 MFは、ベースフレーム、高圧ジェット、レーザーエッチジェネレータなど多くのコンポーネントを備えたモジュラー式のオープンフレーム設計で構成されています。ベースフレームは高級素材で作られており、ソフトキー、LCDディスプレイ、低ノイズプラズマジェネレーター、さまざまなモーションコントロールコンポーネントが含まれています。異なった弁、付属品およびノズルから成っている高圧ジェット機は例外的なエッチングおよびスパッタエッチングの性能を提供します。レーザーエッチジェネレータは、可変速度制御と繰り返しサイクルで正確なオートメーションを提供し、繰り返し可能な結果を保証します。PLASMATHERM 790 MFは、潜在的な危険から保護するための十分な安全機能も提供しています。人間工学に基づいたデザインで、調節可能なアームレストと全体に埋め込まれた安全メカニズムを備えています。さらに、ほこりと発煙のろ過システムは、危険な化学物質から完全なカバレッジを提供し、全体のユニットを包含します。790 MFは、すぐに設定でき、直感的なユーザーインターフェイスを備えた、あらゆる本番環境に最適なソリューションです。それは非常に汎用性が高く、事実上あらゆる材料をエッチングするのに使用することができます。さらに、高度な熱制御とプラズマソース監視を備えており、無人運転が可能です。効率を高めるために、PLASMATHERM 790 MFは高度なデータ監視および制御システムも提供しています。温度、圧力、周波数などのさまざまなパラメータを追跡し、オペレータはエッチング工程を精密に制御できます。結論として、790 MFは、工業生産の最高水準を満たすように設計された強力で堅牢なエッチングおよびアッシングツールです。効率的で正確で信頼性の高い操作を保証するさまざまな機能を提供します。さらに、人間工学に基づいた設計と高度な安全機能により、すべての操作に安全な環境を提供します。
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