中古 PLASMATHERM 770 ICP #9124019 を販売中
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ID: 9124019
ヴィンテージ: 2001
Ion coupled plasma etcher
Load lock shuttle lock transfer
Single chamber ICP
Watlow heater
Power supply: RFPP – RF5S & 20M
Electrode: 8.31”
Electrostatic chuck: 6"
(6) MKS MFCs-(O2, N2, Cl2, BCl3,Ar,spare)
VAT PM-5
He backside cooling
Neslab 75W
Turbo pump
Leybold D16B
Leybold D40BCS
Plasmatherm windows OS
2001 vintage.
PLASMATHERM 770 ICPは、高速・高精度加工のために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。表面エッチング、誘電層の異方性エッチング、基板層の裏面エッチングなど、さまざまな用途に最適なコンパクトなシステムです。このユニットは、セットアップ時間を最小限に抑え、大量の材料に対応するために簡単にスケーリングすることができるため、ラピッドプロトタイピングに特に適しています。770 ICPは、高精度エッチング用途に不可欠な高密度プラズマを生成する誘導結合プラズマ(ICP)源を備えています。このプラズマは、真空クラス10クリーンルームで生成され、エッチング室に限定されています。この機械はまた、プロセスの汎用性と制御を強化するための2つの独立したガス分配システムを備えています。エッチング処理は、ユーザーが簡単かつ正確にエッチング条件を設定できるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを使用して制御されます。このツールは、側面からアクセス可能な7インチのエッチングチャンバーを備えており、200 °/sまで回転する回転ヘッドを備えています。これにより、回路基板の両側をエッチングし、回路基板全体で最適な均一性を作り出すことができます。回転ヘッドはエッチング時に温度安定化され、精度と精度を確保します。このアセットは、さまざまな厚さの材料をエッチングすることができ、30mm/minまでの速度でエッチングすることができます。PLASMATHERM 770 ICPには、ミストフィルトレーションモデルが統合されており、エッチングプロセス残留物を捕捉して清潔度を向上させます。また、セルフクリーニング機能も備えており、ノズルやその他の部品を自動的に洗浄し、長時間の連続した性能を維持します。システムは、最大の安全性とエネルギー効率のために設計され、ユーザーと環境を保護するためにいくつかの安全装置を組み込んでいます。このユニットは多言語のユーザーインターフェイスも備えており、異なる国籍のユーザーにも簡単に使用できます。770 ICPは、さまざまな用途に対応する精度、パワー、スピードを兼ね備えた汎用性の高いエッチングおよびアッシング機です。このツールは、エッチングおよびアッシング回路基板、半導体、およびその他の材料に最適なソリューションです。
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