中古 PLASMATHERM 770 ICP/770 SLR ICP #9124950 を販売中
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ID: 9124950
Lower electrode ceramic (Alumina) insulator
SLR ICP etch system
P/N: 41120-89864-010.
PLASMATHERM 770 ICP/770 SLR ICPは、低熱および高熱アプリケーションの両方に精度と信頼性を提供するように設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。このICPシステムは、プラズマ技術を利用して、幅広い用途でエッチングとアッシングに効率的で均一で費用対効果の高いソリューションを提供します。このユニットは、低圧および高圧動作の両方を備えた堅牢な真空チャンバを備えているため、基板エッチングとアッシング速度の柔軟性が可能です。770 ICPは、処理時間が10秒と短いため、均一で正確なエッチングとアッシングの結果が得られます。770 ICPは最大負荷速度が毎分70 mmで、高スループットを実現しています。このマシンは、金属基板、金属、プラスチックなどの幅広い基板と互換性があります。エンベデッドガス供給ツールにより、片手操作が可能で、複数のプロセスパラメータによりエッチングとアッシングプロセスの最適化が可能です。エッチングとアッシングプロセスは、すべてのパラメータを正確に制御できる高度なタッチスクリーンパネルによって制御されます。プラズマエッチングとリアクティブイオンエッチング技術により、高い忠実度のエッチングパターンとエッチングパターン領域を狭くすることができます。このモデルは酸化制御も提供し、基板の精密な表面処理を可能にします。770 ICPは、エッチングおよびアッシング時にチャンバーを保護するために強力な冷却を利用し、洗練されたダストフィルタにより基板の塵の汚染を防ぎます。装置の安全機能には、内蔵の点火ピン、電源スイッチ、緊急シャットダウンスイッチが含まれます。システムは、最高レベルの制御と精度のための最先端のエッチングとアッシングソフトウェアと互換性があります。770 ICPは、精密エッチングとアッシングを必要とするさまざまなアプリケーションに最適です。この単位は精密な結果を要求する研究者および企業のための信頼でき、費用効果が大きい解決を提供します。機械の効率と性能は、非常に貴重なエッチャーとアッシャーになります。
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