中古 PLASMATHERM 740 #194698 を販売中

PLASMATHERM 740は、ハイスループットとコスト効率に優れたウェーハ処理用に設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この装置は、高効率の低圧プラズマ源、および独自の3軸ポジショナー、デュアルパルスウェーハ処理、および優れたエッチング均一性、高いビーム密度、および高いアスペクト比を達成するためのさまざまなプロセス機能を備えており、大きな欠陥のない表面積に対して精密なアライメントを提供します。740にはカスタマイズ可能なプロセスツールセットがあり、ドライエッチング、アッシング、コーティング、印刷、ストリッピングなど、さまざまな用途に合わせて加工できます。業界をリードするプロセス精度と低コストのバッチ処理を組み合わせることで、大量生産環境に最適なPLASMATHERM 740です。特許取得済みのマルチレベルプラズマプロセス最適化と均一性制御技術により、浅いトレンチ分離プロセスと中深度および深い寸法構造の両方で高品質の結果が得られます。740の高出力プラズマ源は、エッチング性能を最適化するために、異なるエネルギー、流量、およびパルス期間でパルスを生成することができます。さらに、デュアルパルス制御技術を使用することで、プロセス時間を短縮し、ウェーハ表面内の高エネルギーおよび低エネルギー領域を排除できます。Pulse Delay Knowledge Unitは、より高い精度で対称かつ均一なフィードフォワードパルス遅延を保証します。このマシンはまた、最大速度624 bpmの3軸ロボットポジショナーを備えています。ポジショナーは、イメージングプロセス全体でウェーハの正確なアライメントと動きを保証します。また、12のパワーレベルの制御ステップと、最適化されたカバレッジのための調整可能なウェーハ傾きも提供します。PLASMATHERM 740は、ユーザーフレンドリーで直感的なWindowsベースのインターフェイスを備えており、リモートアクセスを提供してサポートを強化しています。生産性と稼働時間を向上させるハードウェアとソフトウェアの両方のプラットフォームを備えたこのツールは、あらゆるウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。