中古 PLASMATHERM 7300PE #9042738 を販売中
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ID: 9042738
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
PECVD System, 8"
Includes:
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PEは、産業および研究市場向けに設計された高度なエッチング/アッシングシステムです。このユニットは、プログラム可能な温度範囲（450-600°C）と独立した赤外線およびマイクロ波加熱を備えており、サンプル処理パラメータを正確に制御できます。さらに、マニホールドヒーターセクションとRFジェネレータは、最適な電源と作業圧力レベルバランスのために独立して駆動されます。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、およびダイヤモンド様炭素（DLC）コーティングを含むさまざまな材料のエッチング/アッシングに適しています。UPEC （Universal Parallel Etch Control）技術を使用して、最適なエッチング速度と再現性を実現しています。この技術は、プロセス中のエッチング速度を追跡し、一貫した結果を得るために化学の流れを制御します。7300PEには、自動マニホールドシャットオフバルブ、電動ソーススローオフスイッチ、酸素モニターなど、さまざまな安全機能が装備されています。デジタルコントロールはユーザーフレンドリーで、遠隔操作と無人エッチングが可能です。さらに、Data Harvesting Programを使用すると、化学流量、温度、圧力、およびその他のプロセスパラメータを監視できます。PLASMATHERM 7300PEは、高トランスファーエッチング率と信頼性の高いプロセス制御を組み合わせており、産業および研究用途に最適なソリューションです。単位は取付け、作動し、そして維持し易いように設計されています。さらに、耐腐食性の構造により、堅牢で耐久性があり、過酷な環境に適しています。その高度な機能と優れた性能により、精密で信頼性の高いエッチング/アッシングに最適です。
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