中古 PLASMATHERM 7200 #9124185 を販売中
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ID: 9124185
ヴィンテージ: 1991
Large batch chamber
RIE Electropolish the stainless steel
lower electrode powered: 30-32"
Shower head height
(5) Brooks 5850e MFCs
BCl3 process for backside via etching of GaAs wafer
RF20F power supply with matching network
Leybold 360 turbo with controller
Edwards EM40 with 250 blower
Upgraded to PC controller
1991 vintage.
PLASMATHERM 7200は、ハイスループット処理の精度とスピードをユーザーに提供するために設計された最先端のエッチング/アッシャー装置です。PCB材料エッチング、フォトマスクエッチング、MEMS加工など各種エッチングに適しています。7200は、高電流、高周波電源を使用して、正確で反復可能な結果を提供します。インラインプラズマトーチを備え、プロセス制御と信頼性を向上させます。トーチには、最適な性能とプロセス緯度のために特別に設計されたノズルが付属しています。ユニットはまた、部品への容易なアクセスを提供し、汚染を最小限に抑える引き込み式チャンバーを備えています。この機械は、高速で多種多様なエッチング技術を実行することができます。ウエハカセットとチルトキャリア構成により、非接触エッチングと正確なレジストパターニングが可能です。さらに、プロセス制御ソフトウェアは、脆弱な基板を扱う場合でも、再現性と精度を保証します。このツールは、マスクホルダー、ダイシングブレード、特殊ホルダー、追加ノズルなど、さまざまなオプションパーツやアクセサリもカスタマイズ可能です。また、SF6、 O2、 SF4、 H2などの様々なガスにも対応しています。PLASMATHERM 7200は、幅広い機能を備えた堅牢で信頼性の高い資産です。その高度な機能と制御ソフトウェアは、ユーザーが迅速かつ正確なエッチング操作を迅速に行うことができます。このモデルのモジュールベースのアーキテクチャにより、将来的なアップグレードが可能となり、最新の技術進歩により機器が最新の状態に保たれるようになります。
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