中古 PLASMATHERM 7000 #9180831 を販売中
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PLASMATHERM 7000は、高精度のウェーハ処理能力を提供するように設計された最先端のエッチャーおよびアッシャーです。このデバイスは、高度なプラズマプロセス技術、ガス注入システム、制御可能なプロセス監視および自動化された操作を組み合わせて使用し、幅広い半導体基板のエッチングとアッシングに信頼性とコスト効率の高いソリューションを提供します。7000は0。1 mmから0。75 mmの厚さの範囲の直径の200mmまで基質を処理することができ金属、絶縁体、半導体化合物および製陶術のエッチングそしてashingために形成することができます。このデバイスは、プロセス制御システムを統合して構築されており、進行状況を監視し、エッチング速度を制御するパラメータを設定し、処理速度を最適化する機能を顧客に提供します。ユーザーインターフェイスは、進行中のプロセスに関するリアルタイムフィードバックを持つグラフィカルユーザーインターフェイスを通じて、エッチングおよびアッシングプロセスを簡単に制御できるように設計されています。このデバイスには、安全性システムが内蔵されており、危険な状態や重大なエラーが発生した場合にエッチングおよび/またはアッシャーをシャットオフするように設計されています。この高精度エッチングとアッシャーは、お客様が材料と基板の高品質で信頼性の高い処理を達成するために必要なすべての機能を提供します。
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