中古 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223 を販売中

PLASMATHERM 700 VLR （Versalock）は、半導体産業における高度な高精度処理のために設計された堅牢で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。複数の温度制御システムなどの最新技術を搭載し、優れた結果をもたらす再現性のある追跡可能なプロセスを保証します。エッチャー/アッシャーは5つの独立した温度ゾーンを採用しており、それぞれ独立したデジタルコントローラを備えています。これにより、微細構造地平線の正確な温度制御と正確な熱特性が保証されます。PLASMATHERM 700 VLRは、強力な磁気活性化ロック機構も備えています。これにより、ローディングシステムとプロセスチャンバーが確実にロックされたままになり、安全で安定した動作が可能になります。Versalock機能は、手動リセットや調整を必要とせずに、信頼性の高い再現性の高いプロセスも提供します。PLASMATHERM 700 VLRは、2段メカニカルポンプを採用し、低放散および低乱流の処理を提供します。超低消費条件により、エッチングとマテリアルコストの両方が削減され、コスト効率が向上します。安全性の面では、PLASMATHERM 700 VLRには、機械式インターロックとプロセスシール機能の両方が装備されています。後者はオペレータが安全に閉鎖されたドアの後ろで働くことを可能にし、従って人員に安全な環境を提供する。PLASMATHERM 700 VLRは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェースシステムを備えており、オペレータはエッチングの進行状況を監視および制御できます。さまざまなプリセットレシピで、ユーザーは手動で介入することなく、複数のエッチングプロセスを実行できます。全体として、その高度な技術、堅牢な設計、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、PLASMATHERM 700 VLRは半導体エッチングとアッシングに最適です。このエッチャー/アッシャーは、生産性の向上、信頼性の向上、および消耗品の最小限のコストを提供します。