中古 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9123991 を販売中

PLASMATHERM 700 VLR （Versalock）は、金属や誘電体を含む幅広い半導体アプリケーションや材料向けに設計された高性能プラズマエッチャーです。これは、要求の厳しいデバイスの生産のために最大350 μ mの領域をエッチングすることができます。Versalock装置は、プロセスに必要な正確なパラメータに正確に調整できる真空およびガス圧力メカニズムを採用しています。PLASMATHERM 700 VLRは、最適化されたガス流量制御システムを備えた独自のPCXプロセスチャンバーを備えています。このユニットは、従来のプラズマエッチングシステムよりも優れたエッチング均一性を提供します。Versalockは、エッチング温度の自動リアルタイム制御、ラインブレイク補正、電圧出力マッチング、および特許取得済みのプラグアンドプレイガス射出機も備えています。このツールは、外部フローコントローラの必要性を排除し、即座に流量をロックします。PLASMATHERM 700 VLRは、ガス冷却非熱イメージングプレートの特性を利用した自動加熱および冷却アセットも備えています。これにより、モデルはシングルレベルとマルチレベルのチップ設計の両方のエッチング速度を正確に制御することができました。Versalockは、エッジ丸めやサイドウォールテーパーを使用せずに、高アスペクト比の構造の小さな機能エッチングに特に適しています。この装置は、低粗さと垂直サイドウォールで200nmから500nmまでのチャネルを製造することもできます。シングルソベックとカスケードエッチングの両方のコンセプトに使用できます。Versalockには充電中和システムも内蔵されており、エッチング工程中のチャンバー内の不純物の蓄積を排除します。PLASMATHERM 700 VLRは、過電圧保護、過電流保護、チャンバー圧力制御、3Dインターロックなど、さまざまな安全機能を備えています。機械の稼働中に危険な反応が起こらないようにすることで、蓋ユニットの安全性をさらに向上させます。また、Versalockは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、エッチングプロセスのパラメータを簡単に調整できます。結論として、PLASMATHERM 700 VLR （Versalock）は、さまざまな用途や材料向けに設計された高度なエッチングツールです。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス、特許取得済みのプラグアンドプレイガスインジェクション資産、自動加熱および冷却モデルを備えています。さまざまな安全機能と精密エッチング機能を備えたVersalockは、さまざまな要求の厳しい半導体アプリケーションに最適なソリューションです。