中古 PLASMATECH RIE-80 #9249321 を販売中

プラスマテックのRIE-80は基質の表面から材料の薄い層の化学薬品そして物理的な取り外しのために使用される高度のエッチャー/asherです。この強力なツールは、最高の精度と精度で材料を取り除くことができ、エッチングプロセスを非常に正確に制御することができます。RIE-80は実験室の設定の使用のために設計されている遠隔に作動させたエッチャー/asherです。ガスインレット、チャンバー、コンセントを備えた大きなオープンフレーム構造を特徴としています。フルサイズのチャンバーは、最大のエッチングスループットを提供するように設計されています。チャンバーには2つのサンプルホルダーとサンプルテーブルがあり、一度に最大8つのサンプルを処理できます。PLASMATECH RIE-80には、全自動のプロセス監視と制御を提供する高度なプロセス制御が装備されています。これにより、ガスフローから温度、圧力、タイミングまで、エッチングパラメータを正確に制御できます。これにより、エッチングプロセスRIE-80制御において非常に高い精度を必要とするアプリケーションに最適です。PLASMATECH RIE-80は、3軸CNC制御ジンバルシステムを備えており、スキャン、エッチング、ウェーハ回転のための迅速かつ正確な傾き運動を可能にします。このシステムは、ハイスループットエッチング動作用に設計されており、ウェーハの回転と傾きを正確に制御します。RIE-80はまたエッチング結果の質を確認するのに使用される高度の、高解像度の光学顕微鏡が装備されています。PLASMATECH RIE-80は、エッチングプロセスの効率的かつ正確な制御を提供するように設計された強力で正確なエッチャー/アッシャーです。最大8つのサンプルを同時に処理することができ、高速かつ正確なウェーハ傾斜運動のための高度なプロセス制御およびCNC制御ジンバルシステムが装備されています。RIE-80は、優れた精度と精度で高精度のエッチング結果を得ることができ、ラボ用途に最適です。