中古 PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3 #9179429 を販売中
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PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3は、一貫した高品質のエッチングとアッシングの結果を提供するように設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、強力なプラズマ生成と制御機能を提供し、半導体ウェーハ、電子パッケージ、アルミナ基板のエッチングなど、さまざまな用途に適しています。MPT-IC-3は、高出力のショルダー陰極アーク源、信頼性の高いイオン源、およびプラズマエッチングとアッシングプロセスの両方をサポートするマイクロ波発電機を備えています。このユニットは、最適な性能を得るために調整することができる信頼性の高い高速プロセスで均一なエッチングを提供することができます。このマシンはまた、ユーザーが特定のニーズに応じてプラズマパラメータをカスタマイズできるように、さまざまな制御オプションを提供しています。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3には、プラズマの安定性を確保するための手動および自動圧力制御ツールも含まれています。この資産の汎用性により、ステンレス鋼、アルミニウム、シリコン、タングステンなどの多くの材料に使用することができます。MPT-IC-3はさらにガス混合物の供給のための高温ガスパネルおよび一定の範囲内の基質の温度を維持する高度の温度調整モデルが装備されています。バレルチャンバーは、処理中に表示するための統合された光学機器で設計されています。このシステムは、エッチング時間、チャンバー圧力、RF電力、およびその他のパラメータを含むさまざまなプロセスパラメータを提供します。これらのパラメータは、さまざまな種類のエッチングおよびアッシングプロセスのパフォーマンスを最適化するために調整することができます。このユニットには、幅広いプロセスガスの正確な濃度制御を保証するためのオプションのガスインジェクション機も含まれています。使いやすさのために、コントロールユニットは直感的なインターフェイスと、さまざまなエッチング/アッシングやその他のプロセスパラメータを制御するためのユニークなタッチスクリーンインターフェイスを提供します。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3は、プラズマエッチング技術とカスタマーサポートに関する豊富な経験に裏打ちされています。このツールはまた、安全性、パフォーマンス、信頼性の面で業界最高水準を満たしており、安心の追加のための長期保証が付属しています。
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