中古 PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV #9068922 を販売中

PLASMA SYSTEMS DES 206-254AVは、半導体およびMEMSデバイス製造用に設計された完全自動エッチングおよびアッシング装置です。システムには最先端の環境制御ステーションが装備されており、ユーザーはプロセスのパラメータを正確に調整できます。機械は精密なエッチングおよびashingプロセスのための精密な温度調整、精密な流れ制御およびガス配達を保障するために設計されています。このユニットは、3検出器、32チャネル、および32ビットのリアルタイム埋め込みプロセッサで構成されており、プロセスをリアルタイムで監視および調整する機能を提供します。このマシンは、最大16個のエッチング/エッチング/ベイク/灰、16個のクリーン/エッチング/エッチングおよび0-16のクリーン/ベイク/ベークベークサイクルを動作させることができ、ユーザーはMEMSデバイスの製造に必要なプロセスを迅速かつ正確に実行できます。このツールはまた、圧力、温度、流量、ガス組成などのプロセスパラメータを正確に制御できる多数のプロセス制御オプションを備えています。さらに、アセットは、ユーザーが作成したプロセスレシピを介してパラメーターを自動的に制御することができます。高度なリアルタイムプロセス監視機能により、ユーザーはプロセスをリアルタイムで継続的に監視および調整できます。このモデルは、ウェットエッチング、ドライエッチング、物理蒸着などの材料除去のためのさまざまなエッチングおよび灰プロセスを実行するために使用できます。この装置は、均一性の向上とサイクル時間の短縮により、優れたプロセス制御を提供します。また、高精度な制御と再現性により、MEMSデバイスに最適です。また、逆流や過圧保護、過熱保護、電力損失時の自動シャットダウンなど、幅広い安全機能を備えています。内蔵のセルフキャリブレーション機能により、ユニットの精度がさらに向上します。人間工学に基づいたデザインとユーザーフレンドリーなインターフェースにより、このマシンはエッチングとアッシングプロセスを実行するための信頼性が高く効率的なプラットフォームを提供します。DES 206-254AVエッチングおよびアッシングツールは、半導体およびMEMSデバイスの製造に最適で、正確なプロセス制御と均一性の向上を提供します。その高度な安全機能は最大限の保護を提供し、直感的なインターフェイスは資産を使いやすくします。高速なプロセス速度と再現可能な結果を備えたこのモデルは、エッチングおよびアッシングプロセスにおいて信頼性が高く費用対効果の高い選択肢です。