中古 PLASMA SCIENCE PS 0500D #142226 を販売中

ID: 142226
ウェーハサイズ: 12"
Parallel plate etcher, 12" (8) Stacks.
PLASMA SCIENCE PS 0500Dは、幅広い精密微細加工および仕上げ作業を可能にするように設計された高品質のエッチャー/アッシャーです。PS 0500Dは、高度なエッチング/アッシュ技術を組み合わせて、詳細な機能と複雑な表面仕上げを生成します。このエッチャーは、高密度プラズマ(HDP)アークを使用して、さまざまな材料基板にわたって安定したミクロンレベルのエッチング/灰プロセスをインテリジェントに作成します。このユニットは、精密で再現性のある結果を保証するために、エッチング/アッシングパラメータと電圧/周波数制御の広い範囲を提供しています。高品質のエッチング/アッシュ機能に加えて、PLASMA SCIENCE PS 0500Dは、CoaxialまたはTMF (Triple-Magnetic Field)の放電構成で複数のガスを使用することができる優れた汎用性を提供します。エッチング/アッシュ処理は、材料基板、ジオメトリ、およびその他の要因に応じて調整することができます。PS 0500Dは、高度なHDPアークと組み合わせて、最高品質の微細加工と仕上げを可能にするように設計されています。最後に、PLASMA SCIENCE PS 0500Dは、卓越した安全性と利便性を提供します。これは、潜在的に危険なガス漏れや温度関連の問題を検出したときに自動的に機械をシャットオフする自動レギュレータで設計されています。さらに、PS 0500Dには使いやすいデジタル制御システムが付属しているため、エッチング/アッシュ処理ごとに正確かつ再現性の高いパラメータが得られます。これらの機能により、PLASMA SCIENCE PS 0500Dは非常に信頼性が高く、効率的なエッチャー/アッシャーとなります。
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