中古 PLASMA PECS 600 #9235333 を販売中

PLASMA PECS 600は、半導体などのマイクロエレクトロニクス用途向けに開発されたコンピュータ制御式エッチャーおよびアッシャーです。エッチングおよびアッシングプロセスを幅広いエッチング化学製品で確実に提供できる、効率的で精密なツールです。PECS 600は、ガスパネルとPLASMAチャンバーで構成されています。ガスパネルは後部ガスパネル、2つの側面のガスパネルおよび前部ガスパネルから成っています；これらのパネルは、ユーザーがプロセスで使用されるエッチケミストリーの流量と圧力を調整することができます。基板の均一なエッチングとアッシングを実現し、各種ウエハサイズの調整が可能です。PLASMA PECS 600はまた、プロセスパラメータの簡単で使いやすい制御を提供するように設計されたコンピュータ制御システムとソフトウェアを利用しています。このシステムにより、ユーザーはさまざまなレシピの中から選択することができ、正確なプロセス結果を保証します。ソフトウェアはまた、ユーザーがリアルタイムでプロセスパラメータを監視し、調整することができます、さらに強化されたプロセス機能を提供します。PECS 600は、高速で再現性のある高品質な結果を提供することができます。エッチングおよびアッシングプロセスを、さまざまなエッチング化学物質で正確に制御できるように設計されています。このシステムはまた、エッチング速度と均一性を最適化するために調整することができるプロセスパラメータへの容易なオペレータのアクセスを可能にします。PLASMA PECS 600は、信頼性の高い正確なプロセス制御を提供する高度なソフトウェアとハードウェアを備えた効率的なエッチャー/アッシャーです。その簡単な操作、均一なエッチング/アッシング結果、および幅広いエッチング化学製品は、毎回信頼性の高い結果を提供するため、半導体およびマイクロエレクトロニクス用途に最適なツールです。