中古 PLASMA ETCH PE-100 #9402281 を販売中
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PLASMA ETCH PE-100は、多種多様なアプリケーションに最適なエッチャーおよびアッシャーです。ステンレス製のメインキャビネットと透明なPMMAドアで構成され、審美的で使いやすいデザインです。このシステムには、空冷抵抗マッチドイオン源が装備されており、基板に安定した信頼性の高いプラズマを提供します。PE-100は400ワットの電源で動作し、幅広いクリーニングおよびエッチング性能を提供します。広い温度範囲で、シリコン、ガラス、シリコンオンインシュレーター(SOI)、ポリマーなどの材料を簡単にエッチングできます。それはあなたの特定の条件に合うために合わせられたプロセスを可能にする変数の広い範囲を提供します。これらのパラメータには、圧力、ガス混合物、RF電力、およびエッチング速度が含まれます。PLASMA ETCH PE-100は非常にユーザーフレンドリーで、タッチパネルで簡単に操作できます。これは2チャンバ設計を備えており、1つのチャンバを1つのアプリケーションに専用化し、もう1つのチャンバは他のプロセスで使用可能なままです。最先端のターボポンプ・システムにより、チャンバーのサイクル時間を短縮し、ダウンタイムを短縮してより効率的な処理を可能にします。部屋は優れた質のステンレス鋼からなされ、優秀な腐食保護、安全および耐久性を提供します。これにより、メンテナンスと維持管理を最小限に抑えて長期的に使用できます。PE-100は、シミュレートされた結果との優れたプロセスの再現性とタイトな相関を提供します。すべてのパラメータを完全に制御できるため、エッチングプロセスの最大限の安定性と予測可能性が得られます。これは、リソグラフィーマスクの製造やその他の敏感な作業に特に役立ちます。また、教室などのスペースが限られたスペースに最適なコンパクトなデザインとなっています。PLASMA ETCH PE-100は、多くのアプリケーションに使用できる強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。幅広いパラメータ、直感的なユーザーインターフェイス、小さなフットプリントにより、エンジニア、メーカー、教育者、学生に最適です。
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