中古 PLASMA ETCH BT-1C-TT #9352172 を販売中

PLASMA ETCH BT-1C-TTは、産業および科学的目的で使用される高度なAsher/Etcherです。最大5ミクロンの解像度で5x5mmの表面積の高性能・高精度エッチングが可能です。このエッチャーは、金属、プラスチック、複合材料、ガラスなど幅広い材料から2ミクロン以上の層を正確に除去するために使用されます。真空プラズマトロン、マグネトロン無線周波数源ユニット、インダクタンス入力ユニット、トランスユニット、ガス/真空インターフェース、排気システム、プロセスコントローラを収容するチャンバーで構成されています。また、設定変更やプロセス結果の監視を可能にするユーザーインターフェイスがあります。プラズマトロンとRF源はプラズマガスを生成し、ウェハを爆撃します。このプロセスは、分子レベルで表面層をエッチングします。ガスインターフェイスと排気ユニットは、チャンバー内の一定の温度を維持し、プロセス中またはプロセス後にウェーハからエッチング残留物を除去するために使用されます。BT-1C-TTのユーザーインターフェイスにより、電力、タイミング、圧力、温度などのプロセスパラメータを正確に制御および監視できます。PLASMA ETCH BT-1C-TTには、シリコン、SiC、窒化ケイ素、ダイヤモンドなど、さまざまな材料でドライエッチングを実行する機能もあります。ウェーハ表面から幅広いフォトレジスト材料を除去するだけでなく、パターン方向のエッチングやホールサイジングにも使用できます。さらに、PLASMA ETCHレートは、材料、層およびパターンサイズの種類に応じて制御および調整することができます。結論として、BT-1C-TTは要求の厳しい材料のさまざまな薄い層の精密エッチングに適している高度な機械です。高解像度、高エッチング率、正確な制御により、多くのエッチング用途に信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。