中古 PHOENIX RE-200 #9042770 を販売中

PHOENIX RE-200は、様々な産業や研究の仕事や実験室の操作のために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この先進的な装置は、エッチングとアッシング機能を組み合わせて、効率的で信頼性の高い結果を容易な製造プロセスで提供します。ロードロック設備を備えたデュアルチャンバー設計により、エッチングとアッシングを同時または連続で行うことができます。RE-200の効率的な設計には、6つの全方向リフトピンが含まれており、アクティブなガス輸送や基板クランプを必要とせずに高速ロードとアンロードが可能です。部屋は均一なエッチングを保障するために温度制御され、温度安定させます。気化チャンバーは、メンテナンスコストの低い取り外し可能な気化器を備えています。また、低消費電力で大型基板の加工も可能です。PHOENIX RE-200のエッチング機能には、メモリデバイスとロジックデバイスの両方があり、製造結果を改善するためのパラメータを微調整することができます。プラズマ生産ユニットと自動ガス供給により、幅広いガスを使用した精密なエッチングとアッシングが可能です。このマシンは、トランジスタ製造のための真空ベーキングと真空プライミングをサポートすることもできます。RE-200のアッシング機能は、強力な温度制御RFジェネレータを使用して、アッシングチャンバー内の有機材料を除去します。エッチングガスの精製機能により、汚れのない残留を可能にし、副産物の排水を自動化します。このツールは、アッシングプロセスで究極の真空制御のための4段階ポンプも提供します。PHOENIX RE-200は、信頼性の高い動作のための単相電源接続で、携帯性と使いやすさを提供します。また、低圧運転に加え、コロナガスの消費量や廃棄物の発生を抑えています。このモデルは、LCDディスプレイと色分けされたタッチスクリーンボタンを提供し、プロセスの簡単な操作と監視を提供します。装置はまた、CEおよびCSA規格に準拠しており、最高の安全性と品質基準に準拠しています。