中古 PANASONIC PC30B-HS #293615437 を販売中

PANASONIC PC30B-HSは、半導体製造用の高効率・高速エッチング・アッシング装置です。これは、プロセス実行ごとに最大200個の8インチ（または12インチ）ウェーハを保持できる大容量の棚を備えています。PC30B-HSは5つの独立したプロセスチャンバーで構成されています。チャンバーは水平/垂直配置で設計されており、最適化されたワークスペースで最大容量を確保できます。各プロセスチャンバーは垂直方向にロードされ、チャンバーごとに個別のヒーターがあります。このユニットは、プロセスプログラムの選択、単一のレシピ機能、および機械自体内で直接プログラムされる制御パラメータの範囲を提供します。これにより、プロセスの最大限の制御が可能になり、最適なエッチングまたはアッシング結果が得られます。さらに、ユーザーは一連の遠隔操作と予測メンテナンスツールにアクセスできます。これにより、潜在的な誤動作を即座に検出し、必要なアクションをオペレータに通知できます。動作パラメータに関しては、PANASONIC PC30B-HSは、最大2000°Cの設定温度でエッチングおよびアッシングが可能です。動作圧力は0〜0.10MPaの間で調整可能、またはエッチングに1.0MPa可能です。プロセス時間は1秒から999秒、エッチングは4999秒まで設定できます。さらに、このツールには、安全でクリーンで一貫したプロセスのためのプロセスガスの流れを正確に制御することができる自動ガス供給アセットが装備されています。ユーザー監視のために、PC30B-HSには、現在のプロセスパラメータを表示する高度なユーザーインターフェイスが装備されており、特定のしきい値が満たされたときにアラームをトリガーするようにプログラムできます。これは、リアルタイムの温度モニタリングと内部モデル診断と組み合わせて、一貫した最適なアッシング結果を保証します。さらに、この装置は、エッチングとアッシングの安全性と品質管理のための業界で認められた標準であるJ-STD-004に準拠しています。全体として、PANASONIC PC30B-HSは信頼性が高く、効率的なエッチングおよびアッシングシステムであり、一貫した最適なプロセスを提供することができます。その直感的なユーザーインターフェイス、ユニットの高度な監視システムと組み合わせて、最適なプロセスを保証します。その結果、PC30B-HSはあらゆる半導体デバイス製造施設にとって理想的な選択肢です。