中古 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293765806 を販売中

OXFORD PlasmaPro NGP 1000は、幅広い材料アプリケーションに適した高度なエッチャーおよびアッシャーです。1kWのパワフルなソースにより、直径4インチまでのウェーハの精密かつ効率的なエッチングとアッシングが可能です。さらに、NGP 1000は、プロセス間のシームレスな移行を可能にする迅速なRFソーススイッチングを備えているため、エッチング/アッシングのニーズの増加に適しています。NGP1000は-50°C〜+50°Cの温度範囲で、厚さ1。6mmまでの様々な材料をエッチングしてアッシャーすることができます。さらに、業界をリードする400MHz Frequencyおよび0。9s Pulsing Resolutionを誇り、エッチング処理の精度と精度を向上させます。高度なハードウェアにより、精密なガス圧力制御が可能になり、より一貫したプロセスとより良い品質の結果が得られます。NGP 1000の堅牢で効率的な設計により、高速エッチングから低温処理まで幅広い用途に対応できます。また、並列処理機能やリアルタイムプロセスモニタリングなどの高度な機能も備えており、特定のエッチングやアッシングのニーズに適しています。さらに、NGP 1000にはFOUPウェーハキャリアが内蔵されており、一度に最大8つのウェーハをロードおよび処理することができます。NGPはOXFORD System Controlソフトウェアと完全に互換性があり、ユーザーにユニットのさまざまな機能やパラメータを完全に制御することができます。このソフトウェアは、ユーザーが多数のプロセスレシピを作成して保存し、リアルタイムで結果を監視することができます。さらに、ソフトウェアは、マシンを監視し、制御し、安全にレシピデータを格納することが容易にする機能の範囲が付属しています。OXFORD PLASMA PRO NGP1000は、強力な1kWソース、精密なガス圧力制御、およびさまざまなアプリケーションに適した高度なハードウェアを備えたプロのエッチャーおよびアッシャーです。また、並列処理、FOUPウエハキャリア、Oxfordsのツールコントロールソフトウェアなど、NGP 1000は精密エッチングやアッシングのニーズに最適な高度な機能も多数搭載しています。