中古 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293591973 を販売中

OXFORD PlasmaPro NGP 1000は、OXFORD Instrumentsによって設計および製造されたエッチャーおよびアッシャーです。多様な薄膜材料の高品質、再現性、コスト効率の高い処理に最適化された、汎用性の高い自動プラズマ処理装置です。このシステムは、シリコン、GaAs、 SiO2、 SiNxなどの幅広い材料の処理に適しており、高性能な医療機器、光電子機器、マイクロエレクトロニクス機器部品の製造が可能です。NGP 1000は、研究開発およびパイロット生産ラボの運用に最適なコンパクトで費用対効果が高く、使いやすいプラットフォームで、高速プラズマ窒化、方向性酸化、ウェーハリング機能を提供します。この装置には、20cm径の低温処理チャンバが取り付けられており、超低沈着温度下での均一なプラズマ処理に最適化されています。アクティブクーリングユニットは、チャンバ内部で一貫して低温プロファイルを維持し、高スループット処理を可能にし、信頼性の高い再現性のある結果を提供します。OXFORD Instrumentsの業界トップクラスのProCESS制御ソフトウェアと生産性向上ウエハハンドリングを搭載したNGP 1000は、高精度、信頼性、再現性の高いエッチングおよび成膜処理の自動化ソリューションをユーザーに提供します。機械は自動ガスおよび用具の診断、圧力制御、RFの発電機の制御および速いウエハーの調理法を含むプロセスパラメータの高度制御と、容易で、反復可能な操作および一貫したプロセス結果のために設計されています。NGP 1000はメンテナンス性が低く、自己クリーニングイオンソースを備えているため、資産のダウンタイムを削減し、運用コストを削減できます。また、高度な安全モデルを搭載し、クリーンルーム100クラスでの使用に適しており、実験や研究が安全に、確実に、そして最高の品質で行われていることをユーザーに自信を持っています。OXFORD PLASMA PRO NGP1000は、最適化された設計、高い再現性、低オペレーティングコストにより、幅広い業界でのエッチングおよびウェーハ処理に最適です。