中古 OXFORD PlasmaPro 800 Plus #293649664 を販売中

OXFORD PlasmaPro 800 Plus
ID: 293649664
PECVD Systems Power supply: Single phase.
OXFORD PlasmaPro 800 Plusは、プラチナグレードのエッチャーおよびアッシャーで、顕微鏡精度と精度の最高基準を満たすように特別に設計されています。特徴の独特な組合せはそれをあらゆる実験室の設定の貴重な用具にします。PlasmaPro 800 Plusは、エッチング/アッシングスペースの8 "x 8"を誇る堅牢で強力なマシンで、簡単なサンプル調製と位置決めのための7"真空リフト&キャリーアームです。そのチャンバーは温度制御されており、従来のエッチャーと比較して優れた再現性を提供します。1時間あたり最大500サイクルを実行することができ、また、サンプルの正確なイオン化のための強力な組み込みイオン化ビームガンが付属しています。OXFORD PlasmaPro 800 Plusの最先端の機能には、高精度でデジタルハイトコントロールが含まれています。5micronsにエッチングする機能の高度なギャップ制御。エッチング中にプリセットパラメータが超過した場合、自動安全シャットオフおよびイオン化ビームシャットオフを含むカスタマイズされた安全機能。PlasmaPro 800 Plusは、ガラスや石英、シリカ、アルミナなど、幅広い素材のエッチングとアッシングに最適なツールです。IC製造、マスクアライメント、CMP準備、MEMSアプリケーションなどに最適です。これは、迅速な起動とシャットダウン時間を持ち、ユーザーフレンドリーに設計されており、経験の浅いユーザーでも簡単に操作できます。このチャンバーは、2つの液体冷却VENTFITシールによって保護され、安全で清潔で一貫したエッチングチャンバーを確保します。OXFORD PlasmaPro 800 Plusは最高水準に構築されており、ヨーロッパでの使用のために完全にCE認定され、承認されています。非常に信頼性が高く汎用性が高いため、高精度のエッチングまたはアッシングツールが必要な研究室、生産環境、その他のアプリケーションに最適です。
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