中古 OXFORD PlasmaPro 100 #293807691 を販売中

OXFORD PlasmaPro 100は、OXFORD Instruments Plasma Technologyが開発した高性能プラズマエッチャーおよびアッシャー装置です。この先進的なツールは、半導体、MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）、オプトエレクトロニクス、およびその他の関連産業における研究開発および生産環境の厳しい要件を満たすように設計されています。PlasmaPro 100は、精密なプラズマ処理のための汎用性の高いプラットフォームを提供し、ユーザーは幅広い基板上で優れたエッチングおよびアッシング結果を達成することができます。OXFORD PlasmaPro 100は、均一なプラズマ分布と効率的なガス利用を提供する最先端のチャンバー設計を備えており、一貫した再現性のある処理結果を保証します。このシステムには、ガス流量、RF電力、圧力、温度などのプロセスパラメータを正確にチューニングできる高度なプラズマ源と制御機構が装備されています。このレベルの制御により、ユーザーはプラズマ化学とエネルギーを調整して、特定のアプリケーションのプロセス性能を最適化することができます。PlasmaPro 100の特徴の1つは、半導体ウェーハ、ガラス、金属、ポリマーなど様々な基板の柔軟性です。ウエハサイズ、チャックタイプ、温度制御などのカスタマイズ可能な基板処理オプションを提供し、幅広いサンプルタイプとサイズに対応しています。この汎用性により、OXFORD PlasmaPro 100は研究室、パイロット生産ライン、および本格的な製造設備に適しています。PlasmaPro 100には、エッチングとアッシングの両方をサポートするさまざまなガス供給システムが装備されています。ユーザーは、塩素、フッ素、酸素、アルゴンなどのさまざまなプロセスガスから選択して、望ましいエッチング選択性、異方性、プロファイル制御を実現できます。この機械には、迅速なチャンバーの避難とプロセス圧力の正確な制御、プロセスの再現性と信頼性の向上のための非常に効率的なポンプツールも含まれています。OXFORD PlasmaPro 100は、業界標準の安全性とコンプライアンスを確保するため、堅牢なインターロックシステム、ガス漏れ検出メカニズム、緊急停止機能を備えています。この資産は、直感的なプロセス監視と制御機能を提供するユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスで設計されています。オペレータは、プロセスレシピを簡単に設定し、リアルタイムのプロセスデータを監視し、結果を分析してプロセスのパフォーマンスを最適化できます。高度な処理能力に加えて、PlasmaPro 100はメンテナンスと保守性を容易にするために設計されています。このモデルには、診断ツールとリモート監視機能が組み込まれており、プロアクティブなメンテナンススケジューリングとトラブルシューティングを可能にします。OXFORD Instrumentsは、OXFORD PlasmaPro 100システムのパフォーマンスと寿命を最大化するための包括的なテクニカルサポート、トレーニングプログラム、およびアプリケーション支援を提供しています。全体として、PlasmaPro 100は、半導体および関連産業の進化するニーズに応えるために、精度、汎用性、信頼性を兼ね備えた最先端のプラズマエッチャーおよびアッシャー装置です。OXFORD PlasmaPro 100は、高度なチャンバー設計、カスタマイズ可能な基板処理オプション、正確なプロセス制御、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、プラズマ処理技術の新しい標準を設定し、ユーザーが研究および生産アプリケーションで優れた結果を達成できるようにします。