中古 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293830475 を販売中

OXFORDプラズマプロ100コブラは、半導体製造、MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）製造、研究用途向けに設計された先進的なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。この汎用性の高いツールは、幅広い材料の精密かつ制御されたプラズマ処理を可能にする多数の機能と機能を備えています。PlasmaPro 100 Cobraは、エッチング、アッシング、沈着、クリーニングなど、さまざまなプラズマ処理モードを提供する高性能ツールです。このシステムは、酸素、フッ素ベースのガス、その他の反応ガスなどの様々なプロセスガスを処理することができ、ユーザーはプラズマ化学を調整して望ましい物質の除去または修正を達成することができます。OXFORD PlasmaPro 100 Cobraの主な特徴の1つは、その高度なプラズマソース技術です。このユニットには高密度プラズマ源が装備されており、プロセスチャンバー全体で効率的かつ均一なプラズマ生成を可能にします。これにより、一貫した信頼性の高いプロセス結果が得られ、高いプロセス再現性と制御性が保証されます。PlasmaPro 100 Cobraは、RFパワー制御、ガス流量制御、圧力制御、温度制御など、さまざまなプロセス制御オプションを提供します。ユーザーはプロセスパラメータを最適化して、特定のデバイス構造のエッチング速度、選択性、プロファイル制御を実現できます。このマシンは、単一のウェーハ処理またはバッチ処理のオプションを備えた高度に構成可能なプロセスチャンバーを備えています。ウェーハチャック設計により、安全なウェーハクランプと加工時の効率的な熱伝達を可能にし、ウェーハ表面全体で均一な処理を実現します。OXFORD PlasmaPro 100 Cobraは、プロセスレシピの簡単なプログラミングと制御を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。ユーザーは、直感的なソフトウェアインターフェイスを通じてプロセスシーケンスを定義し、プロセスパラメータを設定し、リアルタイムのプロセスデータを監視できます。このツールは、ガス漏れ検出、過圧保護、インターロックなどの安全機能を備えており、操作中のユーザーの安全を確保します。プラズマプロ100コブラはまた、高速ポンプダウンと安定したプロセス条件を可能にする堅牢な真空アセットを備えています。OXFORD PlasmaPro 100 Cobraは、低所有コストと最小限のメンテナンス要件を提供する、信頼性の高い費用対効果の高いツールです。このモデルは、高スループットと生産性のために設計されており、研究環境と生産環境の両方に最適です。結論として、PlasmaPro 100 Cobraは、高度な機能、精密なプロセス制御、および幅広いプラズマ処理アプリケーション向けの高性能を提供する最先端のプラズマエッチャー/アッシャー機器です。その汎用性、信頼性、使いやすさは、半導体製造、MEMS製造、研究室にとって貴重なツールとなります。