中古 OXFORD Plasmalab System 90 #293605091 を販売中

OXFORD Plasmalab Equipment 90 （P90）は、ICおよび一般的な微細加工用途向けに設計された高品質のエッチング/アッシングエッチャーです。この高度なエッチャー/アッシャーは、精密エッチングおよび関連アプリケーションに最適です。P90には単一のガスフローシステムが装備されており、高いプロセス歩留まりを維持しながら、繊細な構造の正確かつ効率的なエッチングを可能にします。P90は、真空レベルが最大1 × 10-6 Torrのユニークな設計のチャンバーを提供し、エッチング処理に最適なエッチング環境を確保します。また、P90にはヒーターとクーラーが内蔵されており、エッチング工程で異なる熱パターンを作成できるため、精密で高解像度の構造が可能です。さらに、内蔵の自動シャッターが特徴で、ガス流量をリアルタイムに制御できます。さらに、P90には効率的で信頼性の高いインターロックユニットがあり、特定の基準が満たされていない場合にエッチング処理が発生するのを防ぎます。さらに、P90のチャンバーは、ロボットアームによるウェーハの効率的な積み下ろし機能、および手動の試料の積み下ろし装置を備えています。Plasmalab Machine 90は直感的な操作ツールを備えており、操作者はすぐにその機能に慣れることができます。このコンソールには、サンプルのプロファイルやステータス、チャンバー圧力などのリアルタイムデータが表示されます。オペレータは簡単にチャンバー圧力を読み取り、資産パラメータを調整できます。さらに、P90にはリモートアクセスプログラムをサポートする高度なソフトウェアモデルが装備されており、ユーザーはEthernet接続を介して機器パラメータを監視および制御できます。P90のソフトウェアは、包括的なリモート制御機能と、ダウンタイムとバッチ廃棄物を最小限に抑えるための包括的な障害検出機能を備えています。OXFORD Instrumentsによって構築されたOXFORD Plasmalab System 90は、ICおよび一般的な微細加工アプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。さまざまな高度なプロセス機能と使いやすいオペレーティングユニットを備えたP90は、複雑な構造物の製造に比類のない品質と性能を提供します。