中古 OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277 を販売中

OXFORD Plasmalab PRS900は、堅牢で高性能なエッチャー/アッシャーで、さまざまな材料を正確にエッチングおよびアッシャーする機能をユーザーに提供するように設計されています。エッチャー/アッシャーは、さまざまな材料や基材をエッチング、アッシング、エッチング洗浄することができる多機能ツールです。エッチングチャンバーとアッシャーチャンバーの両方を備えています。エッチングチャンバーにはラスターされた無線周波数（RF）ソースと真空能力があり、正確で正確なエッチングが可能です。アッシャーチャンバーには、トリムアッシング用のDCとRFの両方の電源を備えたRFソースもあります。エッチングプロセスは、エッチングチャンバーに働くガスと基板材料を導入してPRS900で開始され、そこでRFソースにさらされます。この機能により、材料除去率は、基板タイプ、ガスタイプ、ガス圧力、ガス流量、および基板エッチング露光時間などのパラメータに依存します。アッシャーチャンバーは直流（DC）およびRFソースを使用してサンプルを所望のサイズにトリミングし、エッチチャンバーと同心円状にトリムします。PRS900にはクローズドループのプロセス制御システムもあり、圧力、時間、温度を使用してエッチングとアッシングのプロセスを微調整します。このPRS900は、柔軟なレシピプログラミングのための取り外し可能なプロセスチャンバー、自動クールダウン、温度に対するシステム保護、再現性の高い結果を保証するためのガスマスフロー計算、最適化されたプラズマ生成のためのRFマッチング回路など、さまざまなユニークな機能を備えています。これらのすべての機能は、エッチャー/アッシャーがさまざまな深さと機能サイズに達することができる標準およびカスタマイズされたエッチングプロファイルの両方の準備ができていることを確認します。Plasmalab PRS900は、小規模および大規模なエッチングおよびアッシングプロジェクトのための汎用性の高いツールです。精度と精度を向上させるためのさまざまな機能を提供しているため、複雑なエッチングやアッシングを簡単に実行できるようになりました。最適なプラズマ生成、再現性のある結果、柔軟なレシピプログラミングにより、PRS900はエッチングとアッシングをこれまで以上に容易にします。