中古 OXFORD Plasmalab 90 #293619113 を販売中

OXFORD Plasmalab 90は、微細加工プロセスで様々な産業で使用される高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。この信頼性の高いシステムは、医療用インプラント、MEMSデバイス、太陽光発電などの幅広い用途のための集積回路（IC）やその他のコンポーネントを作成するために広く使用されています。このユニットの主な利点は、30µmまでの厚さの指定された範囲から金属層を正確かつ均一にエッチング、クリーン、および沈殿させることができます。Plasmalab 90マシンには、9軸の可動ロボットアームと真空チャンバーが装備されており、複数のサンプルを同時にエッチングおよびアッシュすることができます。これは、3つの主要なソース（E-gun、イオンビーム、およびマグネトロンスパッターガン）とともに、異なるソースが装備されています。これらのソースはそれぞれ、ナノメートルレベルでエッチング、アッシング、金属蒸着を可能にする独自の機能を備えています。さらに、このツールには、処理中にガス濃度を正確に測定できるin-situガスモニターも含まれています。この資産には、プラズマに不純物を導入するために使用されるRAM源（Reactive Atomic Mixing）も装備されています。これは、磁場の助けを借りて電気アークを使用して粒子の安定した流れを生成します。これは、イオン、電子および他の粒子を衝突させる絶え間ない流れを作り出すのに役立ち、エッチングプロセスを改善するのに役立ちます。OXFORD Plasmalab 90モデルには、ウェーハの温度変化を監視し、より均一なエッチング処理を保証するための統合サーマルイメージングカメラも装備されています。さらに、この装置はプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と統合されており、原子炉内の温度を制御することにより、運転安定性を高めています。このシステムには、サンプルの正確な位置と向きを調整するのに役立つ3次元検出ユニットが装備されています。この最先端の機能は、位置誤差を低減し、サンプルエッチングや灰の精密な表面観察を可能にします。最後に、マシンは、エッチングとアッシャープロセスの詳細な3Dモデルを生成するのに役立つコンピュータ支援設計（CAD）ソフトウェアパッケージと統合されています。CADソフトウェアは、実際の製造が始まる前にプロセスをシミュレートするために校正することもできます。全体として、Plasmalab 90は信頼性の高い高度なエッチングおよびアッシャーツールであり、さまざまな用途に対応する高精度で均一な微細加工部品の作成を支援します。それは効果的に正確な仕様に金属層をエッチングし、きれいにし、沈殿させることを可能にする機能の広い範囲と設計されています。これらの機能により、OXFORD Plasmalab 90は精密に製造されたマイクロエレクトロニクス部品にとって理想的な資産となります。