中古 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9315629 を販売中

OXFORD Plasmalab 800 Plusは、高度なプロトタイピングおよび研究開発ラボの要求を満たすように設計されたエッチャーおよびアッシャーです。これは、エッチングとアッシングのプロセスの広い範囲が可能な高性能、マルチチャンバー機器です。このシステムは、ユニークなデュアルチャンバー設計を採用しており、1つのチャンバーにエッチングを施し、もう1つのチャンバにアッシングを施すことができます。スパッタエッチチャンバーはプラテンを内蔵し、最大4つの基板を同時に取り付けることができ、高スループットエッチングが可能です。引き戸を使用して、基質はサイズおよび形にもかかわらず便利に荷を積むことができます。DI ashingチャンバーは、酸化物エッチングの高速かつ一貫した速度を提供するように設計されており、石英ベースのシングルサイドエッチャーは、最新世代の材料に最適です。どちらのチャンバーも独立した堅牢な制御システムを介して操作または管理されます。Plasmalab 800 Plusは、プラズマチャンバーとDIアッシングチャンバーのRF源の組み合わせを使用しています。RFソースは、最大485Wの範囲で、最大効率を確保するために慎重に構成されています。これにより、性能を犠牲にすることなく、薄くて繊細な基板を処理することができます。OXFORD Plasmalab 800 Plusは、エッチングチャンバー、レシピ、チューニングパラメータ、プロセスタイミング、RFパラメータに直接アクセスできる、多言語で直感的なユーザーインターフェイスを備えています。あらかじめプログラムされたレシピにアクセスすることができ、お客様は特定のアプリケーションの要求に応えるために結果を微調整することができます。Plasmalab 800 Plusは安全性を念頭に置いて設計されており、常にオペレータの安全を確保するためのインターロック、シールド、安全システムが付属しています。すべての部品は現在のセリウムおよびFCCの規則に合致するように設計されています。このツールには、真空診断機能とリモートアクセス機能も統合されています。OXFORD Plasmalab 800 Plusは、精密で効率的で安全なエッチングとアッシング処理に最適です。高度な機能、堅牢な設計、直感的なソフトウェアは、あらゆる高度なプロトタイピングや研究開発ラボに不可欠なツールです。