中古 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9250156 を販売中

OXFORD Plasmalab 800 Plusは、繰り返し可能なエッチング速度と均等にエッチングされた表面を達成するために特別に設計された高度なエッチャーとアッシャーであり、困難な形状を持つ表面でも。Plasmalab 800 Plusは、高性能で低ノイズプラズマをプロセスチャンバーに供給する電源を搭載しています。また、先進的な光学センサを搭載しており、開放電位と反応蒸着速度を効率的に検出、測定、解析することができ、エッチング工程を正確に制御することができます。OXFORD Plasmalab 800 Plusは、バキュームポンプ、水冷、オイルミスト回収システムを内蔵し、幅広いプロセスパラメータを備えたインテリジェントなソフトウェア制御プロセスチャンバーを備えています。シリコンやヒ素ガリウムなどのマイクロエレクトロニクス用途で主に使用される様々な繊細な材料をエッチングすることができます。さらに、Plasmalab 800 Plusにはグローバルシャッターが搭載されており、現場でのシャッター制御が可能で、エッチング期間ごとに柔軟性を提供します。電源のAC出力は0から100％まで調整可能で、プロセスを完全に制御できます。エッチングチャンバーの有効な垂直ギャップは0。2mmの許容差があります。OXFORD Plasmalab 800 Plusがサポートする3つの主なエッチング方法は、平面エッチング、ラスターエッチング、ブラインドエッチングです。平面エッチングとラスターエッチングの両方でX、 Y、シータ座標スキャンが必要です。ブラインドエッチングの場合、シータスキャンは単点測定に置き換えられます。平面エッチング法は、アスペクト比が高いレイヤーをエッチングする場合に最適ですが、ラスターエッチングはアスペクト比が小さい高密度レイヤーに最適です。ブラインドエッチングは、大きなアスペクト比を持つレイヤーと、細かい機能を持たない高いアスペクト比レイヤーに使用できます。ユーザーの安全は3つの主要な安全特徴によって保障されます：プロセス部屋のドアがエッチングプロセスが停止されなければ開いていない連結システム、粒子および化学薬品の加圧コレクションを検出する漏出センサーおよび超音波トランスミッタ/受信機。これらの機能はすべて、エッチング処理中に最大限の安全性を確保します。使用していない場合、Plasmalab 800 Plus Auto-Save関数は、生成するエッチングプロセスの署名とともに、保存されたすべてのプロセスパラメータを保持します。この機能により、ユーザーは最小限の労力で以前のエッチング処理を繰り返すことができます。また、プロセスの状態を監視し、ユーザーは生産開始前にエッチング性能を評価することができます。