中古 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207 を販売中

OXFORD Plasmalab 800 Plusエッチャー/アッシャーは、マイクロエレクトロニクスおよび研究産業の用途向けに設計された高性能、費用対効果の高いエッチングおよびアッシング装置です。7。5リットルの大作業容量により、一度に最大4つのウェーハをエッチングおよびアッシャーすることができます。3mTorrの低圧により、さまざまなエッチングおよびアッシング処理に適しています。Plasmalab 800 Plusは、直感的なユーザーインターフェイスを備えた高度なエレクトロニクスシステムを備えており、ユーザーはエッチングとアッシングプロセスを設定して調整することができます。これには、ユーザーがエッチングとアッシングパラメータを設定し、特定の要件に合わせて調整できるレシピエディタが含まれます。単位の統合されたマスフローのコントローラーはガスの流れが適切な比率および右の純度と常に加えられることを保障します。OXFORD Plasmalab 800 Plusは、酸化物エッチング、パッシベーション、活性化などの幅広い用途に、さまざまなエッチングおよびアッシングケミストリーを提供しています。その3チャンバ設計は、誘導結合プラズマ源とグロー放電源を含むいくつかのプロセスオプションで、さまざまなエッチング構成を可能にします。さらに、ウェーハアライメント用のアイセーフレーザーソース、サンプルアライメント用の手動ソース、専用アッシングチャンバーなど、さまざまな便利な機能を提供します。このツールは、OXFORD Plasmalab ICソフトウェアを使用して完全に自動化されたモードで操作でき、ユーザーはエッチングとアッシングシーケンスを完全に制御できます。ソフトウェアは、ユーザーが自分のレシピを設定し、リアルタイムでプロセスを監視することができます。全体として、Plasmalab 800 Plusは、材料を精度と精度でエッチングして精度を高めるための信頼性と費用対効果の高い方法をユーザーに提供します。その高度な機能、直感的なユーザーインターフェイス、自動化された機能は、マイクロエレクトロニクスや研究業界の多くのアプリケーションに最適です。