中古 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293606951 を販売中

OXFORD Plasmalab 800 Plusは、高度で高精度な光学マスクアライナーエッチャーとアッシャーです。マイクロエレクトロニクスデバイスおよびフォトニック部品の製造に使用するために設計されています。Plasmalab 800 Plusは、マスクアライナーアプリケーションのための汎用性の高いツールを提供し、ユーザーが単一の機器で集積回路層をエッチング、リアクティブイオンエッチング、アッシャー、クリーン化することができます。OXFORD Plasmalab 800 Plusは、光学マスクアライメント技術を活用したデバイスのプロトタイピングと生産を可能にする大規模なプロセスチャンバーで設計されています。このチャンバーは、制御された真空環境内でエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、アッシング、真空蒸着、およびその他のプロセスが可能です。光学マスクアライナーは、フルサークルのスラバブルミラースキャン機構を採用し、エッチング基板との光学パターン化されたマスクの安定した高分解能アライメントを提供します。また、強力なウエハボートを採用し、基板やマスクの迅速かつ正確な位置決めが可能です。基本的なマスクアライメントとエッチング機能に加えて、Plasmalab 800 Plusは高度な機能も提供します。このユニットは、基板全体でエッチングされたフィーチャーの均一性を確保するために、制御されたRIEプロセスを備えています。この機械は、オゾン、酸素、窒素ベースの洗浄プロセスを厳しく制御することもでき、ユーザーは単一のツールでデバイスを洗浄して処理することができます。さらに、このアセットを使用すると、エッチング選択性を持つプロセスレイヤーを部分的にエッチングすることもできます。最後に、OXFORD Plasmalab 800 Plusは直感的なユーザーコントロールモデルを使用して、さまざまなプロセスパラメータをすばやくプログラムし、リアルタイムでエッチングプロセスを監視できます。これらの機能により、光学マスキング技術を利用したデバイスの迅速かつ効率的で費用対効果の高い生産が可能になります。