中古 OXFORD Plasmalab 80+ #293812515 を販売中

OXFORD Plasmalab 80+は、多周波マルチモードRFソースシステムをベースにした強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャー装置です。80MHzのRFソースを内蔵しているため、さまざまな材料の正確で再現性のあるエッチングとアッシングプロセスが可能です。実証済みのデュアル周波数ユニットは、エッチングとアッシングのシーケンスごとに正確な量のエネルギーを選択する機能を備えており、柔軟性と再現性に優れた信頼性の高い結果を得ることができます。Plasmalab 80+は非常にプログラム可能で、パラメータの簡単な選択と監視のためのユーザーフレンドリーな色のタッチスクリーンディスプレイを備えています。独自に制御された最大8つのRFプラズマゾーンを備えており、それぞれ独自の電源、ベクトル温度制御、およびエッチングとアッシングプロセスを最適化するための包括的なパラメータを備えています。OXFORD Plasmalab 80+は、ガラス、シリコンウェーハ、金属、プラスチック、さらには石英など、さまざまな基板を処理できます。このマシンはまた、さまざまな電源構成を提供しており、ユーザーはさまざまな材料に対応するためにワット数と周波数を調整することができます。Plasmalab 80+には、表面平滑化、表面パッシベーションおよびアニーリング、複数の電源とCO2を使用したプラズマエッチングなど、専門的なエッチングと灰サンプルの専門的な処理も含まれています。エッチャまたはアッシャーで使用すると、エッチングおよびアッシング処理を完全に自動化できます。プロセスを自動化することで、サンプルのエッチングとアッシングに必要な時間と労力を大幅に削減できます。OXFORD Plasmalab 80+には、プラズマ源の自動シャットオフ、RFインターロック、ツール監視、過電流保護など、さまざまな安全機能が搭載されています。アセットもリモートで監視されるため、オペレータはサンプルが安全に処理されていることを確認できます。Plasmalab 80+は実験室および産業適用のために設計されている高度の、多目的なエッチャーおよびasherモデルです。幅広い基板、ユーザー定義パラメータ、自動化された処理、安全機能を備えた信頼性の高い再現可能なエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。OXFORD Plasmalab 80+は、精密エッチングとアッシング作業に最適な装置です。