中古 OXFORD Plasmalab 80 #293630465 を販売中

OXFORD Plasmalab 80は、ウェーハ、カプセル化されたダイ、高アスペクト比の基板を処理できる最先端のエッチングおよびアッシング装置です。この高度に進化したシステムは、マイクロスケールおよびナノスケール構造のエッチング、アッシング、プラズマ洗浄に必要なすべてのパラメータを提供することができ、200mmの高アスペクト比チャックを備えた市場で数少ないシステムの1つです。Plasmalab 80の中核は、均質なプロセス分布のための新しいデジタルスキャナと、安定したエッチングとアッシングの結果を得るための正確な圧力設定のための多点圧力制御ユニットを利用した追加のプロセスチャンバーです。また、高出力のRFプラズマソースを備えており、高いプラズマ密度で重要なエッチング、アッシング、洗浄タスクを達成するために必要な膨大な量のプラズマ電力を提供します。このプラットフォームの8インチ容量は、迅速なサイクルタイムとスループットの向上を可能にし、250kgのダブルドアツールは、ウェーハの取り扱いを強化し、安全性を向上させます。このプラズマラブモデルはまた、複数の基板タイプとサイズを処理する能力を誇り、異なる基板を処理する際にスループットを向上させ、ダウンタイムを削減することができます。アセットのすべてのコンポーネントは、温度に敏感なプロセスのための正確な温度と圧力制御を可能にするために互いに協力するように設計されています。これにより、さまざまな用途での再現性と高い歩留まりが保証されます。ユーザーフレンドリーなデザインは非常に直感的で顧客に優しいので、モデルは使いやすいです。プラスマバブ80は、高性能R&D研究所に優れた生産性と品質をもたらす強力なエッチャーおよびアッシャーソリューションです。この最先端のプラスマラブモデルはまた、あらゆるオペレータがあらゆる種類の材料に適したプロセスを見つけることを可能にする包括的なレシピライブラリを提供しています。