中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9412407 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9412407
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、OXFORD Instrumentsによって設計および開発された革新的なエッチング/アッシュマシンです。半導体、ナノテクノロジー、微細加工業界のさまざまな用途に対応する高性能、人間工学的、およびコスト効率の高いツールとして設計されています。Plasmalab 80 Plusは、強力なエッチング/灰の無線周波数(RF)ジェネレータを備えており、信頼性と再現性の高い結果を保証します。このジェネレータは、高精度のエッチング/灰の操作のための調整可能なパルスDCまたはRF電力を生成します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、非金属、プラスチック、軟金属など幅広い材料に対応できる高出力発電機です。その可変ワークテーブルは、より効率的な処理のために一度に最大4つの基板を収容します。Plasmalab 80 Plusはまた、冷却装置を備えており、チャンバー内の温度を低く保ち、エッチング/灰チャンバーの表面を涼しくします。この冷却システムは蒸発を低減し、プロセスの再現性を高めます。さらに、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、安全性の高いインターロック、ESD-safe接続、およびユーザーとオペレータを保護するRF-cageを備えた安全第一アプローチを提供します。Plasmalab 80 PlusはBertechのAutoEtch Unitで提供され、ボタンを押すだけで最大5つの基板をリモートで選択できます。これにより、オペレータが手動で基板を選択して変更する必要がなくなります。さらに、組み込みのレシピとマシンパラメータのストアライブラリにより、プロセスの再現性が向上します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、マイクロエレクトロニクスおよびマイクロマシニング技術に幅広い用途を持っています。ナノテクノロジーやエレクトロニクス機器の開発において、RIEエッチング/アッシュに使用できます。ウェットエッチングやドライエッチング/アッシングプロセスにも適しています。さらに、プラズマラブ80 Plusは、プラズマアシスト堆積、金属、有機バリアント、その他の表面処理プロセスにも使用できます。したがって、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、さまざまなマイクロエレクトロニクスおよびナノテクノロジーのニーズに最適な高度なエッチング/灰マシンです。その信頼性と再現性の高い結果、幅広い素材、使いやすい機能により、経験豊富なユーザーと新規ユーザーの両方に最適です。
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