中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、クリティカルエッチングとアッシングパラメータを優れた制御を提供する最先端のエッチャー/アッシャーです。その高度な設計は、プロセスの均一性とデバイスの歩留まりを最大化するために、正確なエッチングとアッシング制御を保証します。このユニットには、再現可能なプロセスパラメータを確保するために、正確に制御可能な円形マグネトロンアンテナが装備されています。さらに、プロセスパラメータに対する非常に過渡応答を提供するマルチレンジ電源を備えているため、必要に応じて迅速な調整が可能です。Plasmalab 80 Plusは、腐食防止を最大化する先進の真空チャンバー設計と、効率的な一貫したエッチングとアッシングプロセスを提供するさまざまなウェーハ搬送機構を備えています。さらに、一貫した信頼性の高い結果を保証するために、ガス流量モニター、圧力レギュレータ、ガス純度アナライザなど、いくつかのプロセス監視および制御システムが装備されています。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、操作を簡素化し、オペレータのエラーを最小限に抑える高度なユーザーインターフェイスを提供します。制御装置は、リアルタイムでプロセスパラメータのフィードバックを提供し、効率的なデータロギングと分析を可能にします。より複雑なエッチングのために、Plasmalab 80 Plusにはいくつかのオプションがあります。プロセスガス混合システムは、複数のガスを効率的に混合するためのものであり、自動ガス校正モジュールは時間の経過とともにプロセスのドリフトを最小限に抑えます。オンボードの酸素モニターは、不活性ガス処理が重要なアプリケーションに使用されることを確実にするのに役立ちます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、幅広いエッチングおよびアッシング用途に優れたプロセス均一性と歩留まりを提供できる汎用性と強力なユニットです。高度な制御システムとユーザーインターフェイスにより、操作が簡素化され、プロセスパラメータに関するフィードバックがリアルタイムで提供されます。複雑なエッチング用途では、プロセスガスブレンドマシンと自動ガスキャリブレーションモジュールにより、信頼性の高い結果が保証され、時間の経過とともにプロセスのドリフトが削減されます。