中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9383858 を販売中

ID: 9383858
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD Systems, parts system.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、様々な材料から高精度の部品や部品を製造することができる高度なエッチャー/アッシャー装置です。このデバイスは、驚くべき精度と再現性を備えた部品を製造することができます。Plasmalab 80 Plusは、内蔵のプラズマソースを使用して、最大5 cm2/分の速度で精密なエッチングおよびアッシング操作を提供します。このシステムは堅牢で高精度なモーションステージを備えており、最小スケールでも部品を正確に操作できます。プラズマソースとともに、組み込みおよび統合されたソフトウェアスイートを使用して、プロセスを正確に制御します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、180-300 mTorrの圧力を持つステンレス鋼、空冷チャンバーを備えています。これにより、機械は一貫したプロセス圧力と温度を動作および維持することができます。このツールは、3軸モーションコントロールアセットを使用して最適な部品追跡を保証し、エッチング速度と持続時間を正確に調整する能力を備えています。その他の注目すべき機能には、ノズルベースのエッチングとアッシングノズルの統合セットと、サブマージコンポーネントエッチング用のニードル蒸発モジュールが含まれます。Plasmalab 80 Plusには、反応性イオンエッチング、イオンビームエッチング、イオンミリングなど、いくつかのプロセスオプションもあります。また、エッチングおよびアッシング操作に使用される材料のオプションの包括的な概要も提供しています。このモデルには、オペレータが危険な状態から保護されるようにするためのいくつかの安全機能が含まれています。これらの機能には、システムを常に監視するコンピュータ化された診断機器、ユーザーの怪我のリスクをさらに低減するためのインターロックユニット、緊急時にすぐにツールをシャットダウンするための緊急機械が含まれます。高度な機能に加えて、OXFORD Plasmalab 80 Plusは簡単なメンテナンスのために設計されています。完全に自動化されたメンテナンスアセットを備えており、モデルをあらかじめプログラム化して、指定された間隔でメンテナンスを実施し、機器を常にトップランニング状態に保つことができます。全体として、Plasmalab 80 Plusは、精密な部品と部品を製造できる高度なエッチャー/アッシャーシステムです。多くの高度な機能と安全システムが組み込まれているため、エッチングやアッシング操作に最適です。
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