中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9352269 を販売中
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ID: 9352269
PECVD System
With THERMO NESLAB RTE-7 Chiller
MKS MFC's Flow rates range: 50 SCCM to 1 SLM
Deposition material: SiN/SiO2 and SiON
ALCATEL Pump
LAFERT Trolley
HONEYWELL Q Mate Power supply
HONEYWELL UDC3300 Power supply
Power: 90-250 VAC, 50/60 Hz, 18 VA
Gas / Flow rate
CF4+O2 / 200 SCCM
N2 / 1 SLM
SiH4 (2%) / N2 / 500 SCCM
NH3 / 50 SCCM
N2O / 1 SLM.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、高度な全機能エッチャー/アッシャーです。多種多様な素材をエッチング・アッシングする際に、正確で反復可能な結果を提供するように設計されています。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度なソフトウェアを備えており、電力、温度、プロセス時間などのパラメータを完全に制御できます。80 Plusは、さまざまなプロセスや材料に対応するために複数のチャンバー構成を備えています。Plasmalab 80 Plusは、堅牢で信頼性の高いエッチングおよびアッシング装置を備えています。真鍮、銅、アルミ、ステンレス、PCBなど様々な材料を加工することができます。80 Plusは、エッチング/アッシュチャンバー用と真空システム用の2つの独立した真空システムを使用しています。これにより、最大のプロセス精度と再現性が保証されます。真空ユニットには、オイルフリーのターボ分子ポンプ、メカニカルバッキングポンプ、および安定した真空レベルを維持するためのVAR(真空補助再ポンプ)ステーションが含まれています。チャンバーはアルゴンで加圧され、10 mbarから500 mbarまでの圧力の範囲を提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは非常に正確なエッチングとアッシング機です。その動作温度は270°Cから350°Cの範囲ですが、調整可能な圧力と真空レベルにより、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御できます。その可変力レーザーは実際に比類のない精密のためのエッチングの深さ、また沈殿の率を制御することを可能にします。高度なエッチングとアッシング機能に加えて、Plasmalab 80 Plusは洗練された診断機能も提供します。このツールのin-situソフトウェアは、チャンバー圧力、温度、真空、補助資産ステータスなど、プロセスのすべての側面を監視します。これにより、問題が問題になる前に問題を特定して解決することができます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、業界をリードする機能と精度により、幅広い素材を素早く確実にエッチングし、アッシングするための優れた選択肢です。その高度なソフトウェア、強力なモーターモデル、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、汎用性の高いチャンバー構成により、信頼性の高い高性能マシンとなります。
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