中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9292317 を販売中

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ID: 9292317
PECVD System With ALCATEL ADS 602H.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、サンプル表面、薄膜成膜、ナノ加工の研究に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。そのユニークな特徴は、エッチングおよび灰化表面処理からナノ加工まで、幅広い用途に理想的な選択肢です。Plasmalab 80 Plusには2つのプロセスチャンバーが付属しており、幅広い機能を提供します。1つ目のチャンバーはエッチングおよびアッシング用途に使用され、2つ目は反応スパッタリングおよびEB-PVDプロセスによる薄膜蒸着用に設計されています。両チャンバーには、より高い精度と再現性を実現する自動プロセスコントロールが装備されており、ユーザーは最大のプロセス柔軟性を提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは高効率で、実質的にゼロトレランスのエッチングとアッシング機能をユーザーに提供します。機械の高度なパワーシステムは、高出力レベルでも一貫した反復可能なプロセスを保証します。さらに、Plasmalab 80 Plusは、1ミクロンまでのプロセス制御精度も提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、保護されたインターロックシステムとともに、高圧電源絶縁システムなどの高度な安全機能も備えています。これにより、ユーザーはマシンを使用している間も安全に保たれ、最高レベルの動作安全性が保証されます。Plasmalab 80 Plusは直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、操作が簡単で学習曲線を削減できます。また、プロセスパラメータとレシピを保存できるため、ユーザーは以前に作成したプロセスを簡単に思い出すことができます。さらに、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、DCおよびRFの両方の電源と互換性があり、幅広いプラズマプロセス制御の可能性を可能にします。このマシンはまた、複数のガスをサポートし、複雑な表面処理の範囲を可能にします。要するに、Plasmalab 80 Plusは、サンプル表面処理からナノ加工まで、幅広いエッチングおよびアッシング用途に理想的な、非常に強力で柔軟なマシンです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な安全機能により、研究および学術環境に最適な選択肢となり、ユーザーはエッチングとアッシングプロセス用の信頼性の高い安全なツールを提供します。
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