中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9277860 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、ウェットプロセスまたはドライプロセスで幅広いサンプルのエッチングおよびアッシングに使用するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、最新のプラズマ生成技術を含むエッチングおよびアッシングプロセスに最適化された技術を備えており、さまざまな材料やアプリケーションのプロセスを集中して制御することができます。Plasmalab 80 Plusは、最大周波数13。56MHzで5〜500Wの範囲の電力を生成できる120W RF発電機の電源を備えています。この発電機は統合制御システムを備えており、エッチング/アッシングプロセスに関連する電流、電圧、温度およびその他のパラメータを制御することができます。発電機には、特定のプロセスの要求に応じてプロセスパラメータを自己適応させることができるインテリジェント制御ユニットも含まれています。OXFORD Plasmalab 80 Plusには、一度に最大4つのサンプルを保持できる4ポケットサンプルホルダーがあり、時間を節約してスループットを向上させることができます。最大試料サイズは直径4インチで、高さは1。5インチ、エッチング面積は最大10インチです。また、バックエッチングやアッシングプロセスを実行することができ、複数のパスエッチングや灰を可能にします。Plasmalab 80 Plusには、潜在的な危険からユーザーを保護するために設計された統合安全ツールがあります。このアセットには、RFインターロック、真空インターロック、緊急停止ボタンが装備されており、安全な動作を保証します。このモデルには、エッチング/アッシングパラメータを監視し、過圧、低温または高温、またはその他の安全でない状態が発生した場合に装置をシャットダウンする内部安全回路もあります。OXFORD Plasmalab 80 Plusには、ユーザーが特定のニーズに合わせてシステムをカスタマイズできる多数のソフトウェア制御も含まれています。このユニットの制御ソフトウェアはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用しており、操作と使用が簡単です。このインターフェースを使用すると、パラメータを入力してプロセスを選択し、エッチング/アッシングプロセスを詳細に監視および制御できます。機械はまた後で使用するための調理法およびプログラムを貯えることができ、テストされ、確認されたプロセスを再現することを容易にします。これらの機能に加えて、Plasmalab 80 Plusには、真空とガスの流れを制御するためのソフトウェアと、プラズマ放電を監視するためのソフトウェアも含まれています。これらの機能はすべて、高性能と高精度を兼ね備えており、OXFORD Plasmalab 80 Plusはエッチングおよびアッシング用途に最適です。