中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9273094 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、多くの機能と利点を提供する高精度エッチャー/アッシャーマシンです。マイクロエレクトロニクスから産業用部品まで、表面仕上げ用途に特に適しています。Plasmalab 80 Plusは、完全に密閉されたステンレス製のチャンバーを備えており、N2、 Ar、 O2、 N2/O2、 Ar/O2など、さまざまな代替プロセス雰囲気を提供しています。プロセス雰囲気のこの組み合わせは、エッチングまたはアッシングプロセスがエッチング速度、プロファイル、仕上げを正確に制御して再現可能な結果を生み出すことを確実にするのに役立ちます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、プロセス条件をさらに制御するためのさまざまなプロセスパラメータも提供しています。これには、無電解成膜、反応イオンエッチング、基板エッチングなどのプロセスが含まれます。また、ウェーハと電極の間のさまざまなギャップ距離を制御する独立して調整可能なプロセス移動高さも提供します。組み込みの特定のガス注入システムは、ワークの表面全体にガスの均一な分布を提供するのに役立ちます。これにより、プロセスのパフォーマンスが一貫しており、均一なエッチング速度とプロファイルが得られます。さらに、Plasmalab 80 Plusには高度な2段の真空ポンプシステムがあり、正確な圧力制御を可能にしながら、チャンバーの手動排気の必要性を回避します。このマシンは、直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスによって制御されており、プロセスパラメータと設定をプログラミング可能にして、簡単な操作と高い再現性と再現性を実現します。最後に、機械の異常な動作を防止するための安全管理技術と、製品のトレーサビリティを可能にするオプションの自動バーコードリーダーシステムを内蔵しています。全体として、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、さまざまなアプリケーションに幅広い機能と利点を提供する高性能エッチャー/アッシャーマシンです。これにより、プロセスパラメータを正確に制御し、正確で信頼性の高い結果を生み出すことができ、工業用部品製造に最適です。