中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9260764 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、電子デバイス、光学デバイス、生物医学デバイスの微細加工に使用される高度な反応イオンエッチャー（RIE）です。エッチャーは、ハイエンドのパフォーマンス、最大限の互換性と柔軟性、優れたユーザーフレンドリーな操作を兼ね備えています。先進的な機器には、高度なコンピュータ制御プラットフォーム、高スループットのダブルチャンバー設計、堅牢で人間工学に基づいた真空システムが装備されています。同ユニットの第1世代RIE技術は、正確なエッチング精度を均一で再現可能な方法で提供することができます。これは、複数の同時プロセスを追加する可能性がある包括的なコンピュータ制御インターフェイスを備えています。その高いスループットアーキテクチャは、金属、ガラス、その他の硬質材料などの様々な材料の高速エッチングを可能にします。また、アナログとデジタルの両方のプラットフォームで、さまざまな材料との優れた互換性を提供します。Plasmalab 80 Plusは、1。5 cmの再現可能な精度と0。2 cmの解像度で正確な深度プロファイルを提供します。その部屋はすべてのプロセス残余の完全な取り外しのための1。103 mbarまでpurgeableです。その高度な制御機械は、レシピ選択、基板温度、RF電力、RF周波数、DCバイアス、真空、流量など、すべてのパラメータを正確に制御できます。絶縁設計により、反応性イオンエッチングに最適なイオン化条件を確保し、均一なエッチング率と高い選択性を提供します。手動のガスフロー制御により、エッチング速度と結果の均一性を微調整できます。さらに、このツールには統合されたロードロックアセットが含まれており、各サイクルで安全なマテリアルハンドリングと自動化されたプロセス制御が保証されます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、ウェーハホルダー、カバー、追加の加工機器など、幅広いアクセサリーを備えています。これにより、特定の顧客の要件に応じてカスタマイズされたセットアップが可能になり、さまざまなアプリケーションに最適な選択肢となります。全体として、Plasmalab 80 Plusは高度で信頼性の高い反応性イオンエッチャーモデルであり、優れた精度と再現性を提供し、さまざまなアプリケーションで完璧な結果を得ることができます。装置の柔軟性と互換性により、あらゆる微細加工プロセスに最適です。