中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9229826 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9229826
ウェーハサイズ: 8"
ICP System, 8".
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、高精度で積極的なエッチングを可能にするように設計された先進的なドライエッチング装置です。このシステムは、誘導結合プラズマ(ICP)源を使用して、非常にエネルギッシュで局所的なイオンを生成し、シリカ、ポリイミド、アルミニウム、金などの多くの材料の基板に繊細または複雑な構造をエッチングします。このユニットは、優れたエッチング速度、選択性、プロセス再現性を提供し、幅広い分野のアプリケーションに最適です。このマシンは使いやすいユーザーインターフェイスを持ち、高性能の80MHz RFジェネレータを備えています。また、電力波形を監視するためのデジタル化オシロスコープも含まれており、ユーザーはエッチング処理を視覚的に表現し、最適な結果を得るためにエッチングパラメータを分析および微調整することが容易になります。Plasmalab 80 Plusは、精密な自動制御を使用し、強力で正確に制御されたエッチングを提供し、ユーザーは処理される基板の種類と厚さに応じて、優れたエッチング歩留まりと均一性を達成することができます。このツールは、基板上のエッチマスクの配置を正確に調整するために、高解像度のビジョンアセットと統合されています。ビジョンモデルはネストされたジオメトリを検出し、より高い収率と再現性を実現します。さらに、この機器には真空チャンバー、真空絶縁バルブ、一連の統合された製造ツール、およびその用途の範囲を拡大するのに役立つアクセサリーが付属しています。また、3ピースの水晶双方向ビューポートとハロゲンランプを備えており、エッチング中にサンプルを検査してエッチング工程の材料への影響を観察することができます。安全面では、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、インターロック、ガス遮断バルブ、モーションディテクタ、ソフトウェアを安全にユニット化した完全自動安全システムを備えています。これにより、機械の安全な操作が保証され、Plasmalab 80 Plusは安全で信頼性の高いツールであるという安心感をユーザーに提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、あらゆるアプリケーションのニーズを満たすように設計された、高度で正確で信頼性の高いドライエッチャーです。航空宇宙や医療技術などの幅広い業界における重要なアプリケーションに最適です。高精度で再現性があり、幅広い自動安全機能を備えています。
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