中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9226670 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、精密部品のラピッドプロトタイピングおよび小規模生産アプリケーションに使用される洗練されたプラズマエッチング装置です。Plasmalab 80 Plusは、金属、ポリマー、複合材料、誘電体などの基板材料における形状および回路の正確かつ再現可能なエッチングを目的として設計されており、正確で一貫した結果を提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、加圧環境でエッチング処理を行う真空チャンバーを備えています。また、1秒あたり最大1000リットルの出力を持つ2段ターボポンプシステムも組み込まれており、プロセス中に正しい圧力とガスの流れを作り出すことによって、最高のエッチング結果を保証します。このユニットは、4つの個別制御可能なガスラインを備えたマルチレベルガスデリバリーマシンを備えており、一貫した正確な圧力制御を可能にし、細部の精密エッチングを可能にします。このツールには、イオン源インジェクタを使用して安全なエッチング環境を維持するための充電中和陰極保護資産が含まれています。基板の裏面は、プラズマエッチング速度とエッチング深さの両方を制御することを可能にする可変DC電源を備えたカウンターバイアス接地です。Plasmalab 80 Plusは、OXFORD Instrumentsのインプロセスモニタリングおよび制御モデルを統合し、正確で詳細なプロセス制御を実現します。この装置は、過電流保護による自動電流制御、スパッタリング蒸着速度、チャンバー圧力、およびプラズマ監視を可能にします。また、自動化された基板インデックス機能を備えており、自動ラベリング機能を使用して基板のロードとアンロードを迅速に行うことができます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、非接触サンプルローディング/アンロードを容易にし、カセットあたり最大8基板の移動に簡単にアクセスできるカセットユニットです。このマシンはまた、高精度の垂直ファインステップ位置決めと200mm x 200mmの最大移動範囲を提供し、ファインパターンエッチングの制御に最適です。要するに、Plasmalab 80 Plusは非常に高度で多機能なエッチング・プラットフォームであり、さまざまな材料で繊細な回路の正確かつ再現可能なエッチングを可能にします。これは、自動化されたユーザーフレンドリーな制御と安全機能と組み合わされて、多数の研究、プロトタイピング、および生産レベルのアプリケーションに最適なソリューションです。