中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9135432 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、幅広い材料の信頼性と正確なドライエッチングとアッシングを提供する高度なエッチャーおよびアッシャーです。コンパクトに設計されており、資源が限られた研究室や研究施設でも快適に設置できます。Plasmalab 80 Plusはシングルチャンバーのエッチング/アッシュ装置であり、プロセスチャンバを備えたさまざまなタイプの基板を処理することができます。外面はステンレス鋼から成り、装置を耐久および審美的に喜ばせます。装置はPLC制御パネルで構成されており、トータルチャンバー圧力、イオンエネルギー、ガスフロー、RFパワーなどの処理における主要パラメータを完全に制御できます。オンボード診断システムは、メンテナンスとトラブルシューティングを容易にするように設計されています。高度なユーザーインターフェイスにより、オペレータは簡単にエッチング/アッシュ処理のセットポイントにアクセスでき、アプリケーションの特定の要件に応じて調整することができます。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、Asher、 Reactive Ion Etch （RIE）、 Ion Beam Etch （IBE）など、さまざまなプロセスを実行できます。また、半導体材料のドライエッチングを行いながら、経過時間や反応基準に基づいてプロセスを管理するためのさまざまなアクセサリーを装備しています。さらに、この機器は2チャンネルの配送で設計されており、異なる材料を簡単に積むことができます。Plasmalab 80 Plusは、さまざまな不活性ガスおよび反応性ガスとの使用に最適化されています。その先進的なガス供給設計により、10個のガスバルブ、供給圧力/温度レギュレータ、およびデジタル読み出しの助けを借りて、ガス圧力と温度を正確に制御できます。これにより、必要に応じて異なるガスを切り替えることも容易になります。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、加工される材料の種類に関係なく、同時にエッチング/灰プロセスも可能で、効率的で信頼性の高い製品です。このマシンには、Etch-timeなどの異なるパラメータを示すデジタルディスプレイが装備されており、デジタルディスプレイを使用して、正確で繰り返し可能なエッチングとアッシュ実験のためのセットポイントを簡単にプログラムすることができます。全体的に、Plasmalab 80 Plusは、利便性と正確な制御を念頭に置いて設計された信頼性の高い正確なエッチングおよびアッシング装置です。高度なPLC制御パネル、オンボード診断システム、精密ガス供給、2チャンネル配信、精密なデジタル読み出しにより、異なる基板や材料をエッチングおよびアッシングする際に優れた結果を確認できます。