中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293811830 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、研究室の物理蒸着（PVD）およびドライエッチング要件向けに特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。この強力なエッチャー/アッシャーは、PVDおよびエッチング操作用のサンプルのカスタマイズ可能な処理を保証するために、さまざまな制御機能を提供します。Plasmalab 80 Plusは、PVDとドライエッチング操作の両方のパラメータを管理するためのデジタルベースのコンピューター制御機器を備えています。このシステムにより、エッチングプロセスのガス流量、圧力、プラズマ電力などのパラメータを手動で自動制御できます。さらに、8つのガスライン、手動および自動圧力制御機、および手動および自動プラズマ制御機能を備えています。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、高度なセキュリティツール、無線周波数条件を監視する統合RF検出器、過熱遮断資産など、さまざまな機能も提供しています。さらに、Plasmalab 80 Plusのすべてのコンポーネントは、長期的な信頼性と長期的なコスト削減を提供するように設計されています。エッチャー/アッシャーには、PTFEコーティングゲートバルブ、アクティブクーリングモデル、および最大限の安全性を確保する高度な排気装置、および合理化された操作が装備されています。これらの機能は、オペレータに最適な安全性と信頼性の高い高品質のエッチングプロセスを提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、ロードロック、ロードポート、電源、プロセス制御ソリューションなど、さまざまなアクセサリにも対応しています。これにより、プロセスのカスタマイズとエッチングプロセスのパラメータに対する制御の強化が可能になります。全体として、Plasmalab 80 Plusは、研究室でのPVDおよびドライエッチング用に設計された高度なコンピュータ制御エッチャー/アッシャーです。これは、さまざまな制御機能だけでなく、統合されたRF検出器、アクティブ冷却システム、およびPTFEコーティングゲートバルブのような追加の機能を提供します。さらに、OXFORD Plasmalab 80 Plusは様々なアクセサリーと互換性があり、エッチングプロセスのパラメータを制御することができます。