中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293766036 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、幅広いサンプルに精密エッチング、アッシング、デカミング機能を提供する高度なエッチャー/アッシャー装置です。エッチングおよびアッシング機能は、800Vまでのパルスを提供する統合パルス電源によって駆動され、システムはさまざまなアニールおよびエッチング技術を実行することができます。さらに、Plasmalab 80 Plusには、プログラム可能な自動サンプル転送ユニットと効率的なサンプル処理のためのロボットウェハハンドリングアームが装備されています。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方を提供する汎用性の高いプロセスチャンバーを備えています。プロセスチャンバーは、バッチ処理用に最大6個のウエハを収容することができます。また、内蔵のマスフローコントローラと調節可能なフォーカスガスインタフェースを備えており、プロセスガスやその他の気体材料のチャンバへの流量を調節し、再現可能な処理結果を得ることができます。さらに、窒素パージ機はプロセス室を清潔に保ち、不純物を排除し、プロセスの完全性を確保します。高度なエッチングとアニール機能に加えて、Plasmalab 80 Plusは高度な降下プロセスも提供します。高度な降下プロセスは、RFパワー、リアクティブイオンエッチング（RIE）、ウェットエッチングの組み合わせを使用して、クリーンエッチングサーフェスを作成します。このプロセスは、優れたエッチング精度と均一な金属層エッチング結果を提供します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、特定のアプリケーションの特定のエッチングのニーズに合わせた幅広いエッチングレシピを実行することができます。直感的なユーザーインターフェイスにより、簡単なレシピプログラミングとエッチングサイクル結果のデータロギングが可能で、簡単に参照できます。最後に、Plasmalab 80 Plusの高度な安全機能により、ラボや産業環境で使用するための安全で安全なエッチングツールとなります。アセットには、高度なアラーム、アクティブサージ保護、接地シールド、過電圧保護などの安全機能があり、エッチングプロセスに関連する潜在的な危険から人員とモデルの両方を保護します。結論として、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、幅広いサンプルのための精密エッチング、アッシング、および降下機能のホストを提供する高度なエッチャー/アッシャー機器です。このシステムは高度な安全機能を備えており、実験室や産業環境での信頼性の高いエッチングを可能にします。汎用性の高いプロセスチャンバーと直感的なユーザーインターフェースを備えたPlasmalab 80 Plusは、繰り返し可能で再現性のあるエッチング結果を提供し、特定のアプリケーションにカスタマイズされた幅広いエッチングレシピに対応できます。